偏光（污渍、薄膜不均匀性）
坡度（划痕、表面形貌）
反射率（内应力、条纹）
暗场（颗粒、夹杂物）
1.透明基底上的缺陷
2.单层污渍或薄膜不均匀性
3.化合物半导体的晶体缺陷
在化合物半导体基底和外延生长层上检测和分类多种类型的晶体缺陷
所有缺陷类型
薄厚基板
透明和不透明基板
电介质涂层
金属涂层
键合硅片
开发和在线生产
地图和位置
缺陷数量
彩色编码缺陷
缺陷尺寸
保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 无
免费培训: 首次培训免费
免费仪器保养: 收费服务
保内维修承诺: 首次免费上门安装
报修承诺: 24小时反馈
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