应用领域: 半导体
产地类别: 进口
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德 Iplas 微波等离子化学气相沉积
详细细介绍
德国 IPLAS 微波等离子化学气相沉积技术(MPCVD), 通过等离子增加前驱体的反应速率,降低反应温度。适合制备面积大、均匀性好、纯度高、结晶形态好的高质量硬质薄膜和晶体。
MPCVD是世界公认的制备大尺寸单晶金刚石有效手段之一。德国iplas公司专利的 CYRANNUS® 等离子技术解决了传统等离子技术的局限,可以在10mbar到室压范围内激发高稳定度的等离子团,最大限度的减少了因气流、气压、气体成分、电压等因素波动引起的等离子体状态的变化,从而确保单晶生长的持续性,为合成大尺寸单晶金刚石提供有力保证。
化学机理概要:
碳氢化合物:提供沉积材料
氢气:生成sp3键
氧:对石墨相/sp2键侵蚀
惰性气体:缓冲气体,或生成纳米晶体。
适用合成材料:
大尺寸宝石级单晶钻石
高取向度金刚石晶体
纳米结晶金刚石
碳纳米管/类金刚石碳(DLC)
多种等离子发生器选择:
频率:2.45GHz, 915MHz:
功率:1-2kW, 1-3kW, 3-6kW,1-6kW,5-30kW
等离子团直径:70mm, 145mm, 250mm, 400mm
工作其他范围:0-1000mBar
其他应用:
MPCVD同样适用于平面基体,或曲面颗粒的其它硬质材料如Al2O3,c-BN的薄膜沉积和晶体合成。德国iplas公司凭借几十年在等离子技术领域的积累,可以为用户提供高度定制的设备,满足用户不同的应用需要。
保修期: 1年
是否可延长保修期: 否
现场技术咨询: 无
免费培训: 免费安装及技术培训
免费仪器保养: 6个月一次。
保内维修承诺: 经确认质量问题,免费更换。
报修承诺: 24小时内到达现场并开始维修
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