Corial 等离子体增强化学气相沉积设备 D250L
Corial 等离子体增强化学气相沉积设备 D250L

¥300万 - 400万

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Corial

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D250L

--

欧洲

  • 金牌
  • 第18年
  • 一般经销商
  • 营业执照已审核
核心参数

加热方式: 热壁

产地类别: 进口

应用领域: 半导体

沉积速率: 520nm/min

控制气体: SiH4、NH3、N2

沉积薄膜种类: SiO2、Si3N4、SiOF、SiOCH、SiC

背底真空: -300 to 50

工作气压: 0.2T to 2T

内部尺寸: 最大支持8寸晶圆

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  • 均匀性: <±3%


售后服务承诺

保修期: 1年

是否可延长保修期:

现场技术咨询:

免费培训: 1

免费仪器保养: 1

保内维修承诺:

报修承诺: 48小时内上门

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