基质辅助脉冲激光沉积系统（MAPLE,专业用于高分子镀膜工艺）

仪器简介：
基质辅助脉冲激光沉积系统（MAPLE）是海军研究实验室于1994年开发的，使用准分子激光器沉积聚合物薄膜。多年来，基质辅助脉冲激光沉积系统已经有了很大的发展。商用基质辅助脉冲激光沉积系统现在很容易配备红外激光器和多目标机械手。中科院宁波材料所于2014年1月向我司订购一台MAPLE系统，该系统为国内首台“基质辅助脉冲激光沉积系统”！

系统技术指标：
最大衬底尺寸
One 2-inch diameter substrate or multiple small samples. Larger substrates and custom substrate holders are available on request.
最大衬底温度：300°C typical, but other heaters are available.
MAPLE靶材温度： -194°C (80 K)
压力操作范围：Base pressure depends strongly on polymer/solvent mix and the solvent vapor pressure
MAPLE靶材尺寸：Single 1.5” diameter target standard, larger targets available on request.
靶材到衬底(Throw) 距离：Variable from 2.5 to 4 inches
光栅路径长度：Across complete MAPLE target
标准的激光束射向靶材入射角度：60°
主腔体本底真空：P < 5 x 10^-7 Torr guaranteed with system at room temperature and no polymer/solvent mix.
真空腔体：Box style chamber with easy substrate / target changes.
激光波长：2.9 microns (Er:YAG laser), other lasers/wavelengths available on request.

VIS/NIR Resonant PLD/MAPLE System

可见/近红外共振PLD/MAPLE系统