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核心参数
产地类别： 进口
衬底加热： 液氮冷却
本底真空度： 10E-9Torr
衬底尺寸： 4英寸
靶： 6个
基底旋转： 30RPM
仪器简介：
基质辅助脉冲激光沉积系统（MAPLE）是海军研究实验室于1994年开发的，使用准分子激光器沉积聚合物薄膜。多年来，基质辅助脉冲激光沉积系统已经有了很大的发展。商用基质辅助脉冲激光沉积系统现在很容易配备红外激光器和多目标机械手。中科院宁波材料所于2014年1月向我司订购一台MAPLE系统，该系统为国内首台“基质辅助脉冲激光沉积系统”！
系统技术指标：
最大衬底尺寸
One 2-inch diameter substrate or multiple small samples. Larger substrates and custom substrate holders are available on request.
最大衬底温度：300°C typical, but other heaters are available.
MAPLE靶材温度： -194°C (80 K)
压力操作范围：Base pressure depends strongly on polymer/solvent mix and the solvent vapor pressure
MAPLE靶材尺寸：Single 1.5” diameter target standard, larger targets available on request.
靶材到衬底(Throw) 距离：Variable from 2.5 to 4 inches
光栅路径长度：Across complete MAPLE target
标准的激光束射向靶材入射角度：60°
主腔体本底真空：P < 5 x 10-7 Torr guaranteed with system at room temperature and no polymer/solvent mix.
真空腔体：Box style chamber with easy substrate / target changes.
激光波长：2.9 microns (Er:YAG laser), other lasers/wavelengths available on request.
VIS/NIR Resonant PLD/MAPLE System
可见/近红外共振PLD/MAPLE系统
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企业名称
科睿设备有限公司
企业信息已认证
企业类型
私人股份有限公司
信用代码
61153274-000-03-23-9
成立日期
2023-02-01
注册资本
100
经营范围
科睿设备有限公司(Cross-Tech Equipment Co.,Ltd )自2013年成立以来，为多家国外高科技仪器厂家在中国地区的独家代理。科睿公司一贯秉承『诚信』、『品质』、『服务』、『创新』的企业文化，为广大用户提供最先进的仪器、设备，最的专业技术、服务和最真诚的整体解决方案。在科技日新月异、国力飞速发展的中国，纳米科学研究、薄膜材料(包括半导体)生长和表征、表面材料物性分析、生物药物开发、有机高分子合成等等领域，都需要与欧美发达国家完全接轨的仪器设备平台来实现。科睿设备有限公司有幸成长在这个火热的年代，我们愿意化为一座桥梁，更好的将国外高科技技术融入客户需求的解决方案中，见证祖国科技水平的提升，与祖国科技共同飞速成长。
科睿设备有限公司
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