大面积脉冲激光沉积镀膜系统

荷兰Solmates 公司多年来致力于开发工业级脉冲激光镀膜设备，针对工业生产领域（包括MEMS器件，压电传感器PZT薄膜，LED/OLED光学薄膜，透明导电薄膜，半导体制造业等）推出工业级量产型大样片脉冲激光沉积镀膜设备。该产品既可用于工业生产也可用于研发，设备具体配置可根据用户工艺要求定制，可向用户提供所需薄膜的成熟制备工艺。制备工艺。

工业级脉冲激光沉积镀膜系统

原理介绍：Solmates通过设计激光的扫描路径使得沉积区域能够在基底表面移动实现大面积脉冲激光沉积镀膜。

工作原理示意图

产品特点：

• 样片尺寸：8 , 6, 4英寸（200, 150, 100 mm）可定制

• 样品台温度范围：室温到800℃

• 颗粒搜集系统，确保没有大颗粒沉积和靶材污染

• 低能量低温等离子体‘软着陆’沉积，对基底（有机物基底，单晶外延基底）没有损伤

• 薄膜均匀性（8英寸）可控制在3%以内，薄膜材料不同均匀性略有差异

• 薄膜致密性、孔隙率可通过工艺参数灵活调控

• 薄膜厚度的精确控制，可制备1nm厚的连续薄膜

• 薄膜化学成分的精确控制，等化学计量沉积

• 部分薄膜可实现外延生长

• 工业级全自动过程控制

• 可提供成熟薄膜工艺和新材料的工艺开发

• 占地面积小

典型薄膜应用结果：

8英寸（200 mm）样片上的不同点处的膜厚均匀性

8英寸（200 mm）样片上不同点处的EDX测试，成分均匀性(Pb0.9 , Ba0.1)(Zr0.52 , Ti0.48) O3

8英寸（200 mm）样片上不同点处的温度均匀性

Al2O3薄膜密度/孔隙率控制

更多大面积脉冲激光沉积镀膜系统详细信息，请查看官网：http://www.germantech.com.cn/new/cplook.asp?id=522