产地类别: 进口
衬底加热: 最高850°C,辐射加热器,氧兼容
衬底尺寸: 10mm x10mm到直径2英寸
看了外延系统的用户又看了
产品简介
Pioneer 120 Advanced PLD System 是一个用于制备高质量的外延薄膜独立的系统、多层异质结构和各种材料的超晶格。这个PLD系统和the Pioneer 120 PLD System 的主要区别是衬底加热阶段。先锋120采用导电加热阶段,而Pioneer 120 Advanced PLD System 采用辐射加热阶段。加热器可兼容1大气压(760托)的氧气,这是一特性用于制备外延氧化膜,需要(i)沉积在氧气中,(ii)沉积后退火在氧气中,以及在接近1大气压的氧气中冷却。由于基底不与加热器直接连接,可以连续旋转360度。衬底也可以负载锁定。
这个脉冲激光沉积系统包括一个自动多目标转盘,带有目标旋转、目标光栅和软件控制的多层和超晶格沉积所需的目标选择。闭环压力控制提供了使用质量流量控制器的精确过程压力控制。干式泵是由机械隔膜泵或涡旋泵支持的涡轮分子泵组合而成。该系统软件(Windows 7, LabView 2013) 控制基材加热器、目标转盘、过程压力、系统泵和激光触发。由于衬底可以转移,可进行多种选择。这些包括但不限于将PLD系统与各种其他沉积平台(如超高真空溅踱系统)集成,也与超高真空分析系统(如XPS/ARPES等)集成。
产品特点
独立的交钥匙PLD系统。
外延薄膜、多层异质结构和超晶格的沉积。
利用原位RHEED诊断技术沉积纳米级薄膜。
氧化膜沉积的氧相容性。
升级:负载锁定,激光加热器,RF/DC溅射,组合PLD
与超高真空溅踱系统集成。
与XPS /ARPES超高真空集群工具集成。
技术指标
项目 | Pioneer240 | Pioneer180 | Pioneer120A |
最大wafer 直径 | 8” | 6” | 2” |
最大靶材数量 | 6 个1” 或3 个2” | 6 个1” 或3 个2” | 6 个1” 或3 个2” |
压力(Torr) * | 5*10-8 | 5*10-9 | 5*10-9 |
真空室直径 | 24” | 18” | 12” |
基片加热器 | 360°旋转 | 360°旋转 | 360°旋转 |
最高样品温度 | 850 ℃ | 850 ℃ | 950 ℃ |
Turbo 泵抽速* (liters/sec) | 700 软件控制 | 400 软件控制 | 260 软件控制 |
计算机控制 | 包括 | 包括 | 包括 |
基片旋转 | 包括 | 包括 | 选件 |
基片预真空室 | 包括 | 选件 | 选件 |
扫描激光束系统 | 包括 | 选件 | - |
靶预真空室 | 包括 | 选件 | - |
IBAD 离子束辅助沉积 | 选件 | 选件 | 选件 |
CCS 连续组成扩展 | 选件 | 选件 | - |
高压RHEED | 选件 | 选件 | 选件 |
520 liters/sec 泵 | N/A | 选件 | - |
产品货期: 90天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
维修响应时间: 2天内
脉冲激光沉积系统 Pioneer 120 PLD System
型号:Pioneer 120 PLD System 面议脉冲激光沉积系统 180 Laser MBE/PLD
型号:Pioneer 180 Laser MBE/PLD System 面议大尺寸脉冲激光沉积系统 Large-Area PLD Systems
型号:Large-Area PLD Systems 面议Neocera外延系统Pioneer 120 Advanced PLD System的工作原理介绍
外延系统Pioneer 120 Advanced PLD System的使用方法?
NeoceraPioneer 120 Advanced PLD System多少钱一台?
外延系统Pioneer 120 Advanced PLD System可以检测什么?
外延系统Pioneer 120 Advanced PLD System使用的注意事项?
NeoceraPioneer 120 Advanced PLD System的说明书有吗?
Neocera外延系统Pioneer 120 Advanced PLD System的操作规程有吗?
Neocera外延系统Pioneer 120 Advanced PLD System报价含票含运吗?
NeoceraPioneer 120 Advanced PLD System有现货吗?
最多添加5台