类型手动
掩模版尺寸最大 5 英寸
基板尺寸 碎片到4 英寸圆形
均匀的光束尺寸125 毫米圆形
紫外光源紫外发光二极管（LED光源）
光束波长365 纳米
光束均匀性<±3 %
365 nm 强度最大 25 毫瓦/㎠
对齐方式手动
对准精度1微米
进程模式软，硬，真空接触和接近
流程解析1 um @ 1 um PR 厚度，带真空触点
重量（公斤）150公斤
尺寸（毫米）995（宽）* 800（深） * 850（高）
保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 有
免费培训: 1次免费培训
免费仪器保养: 3月1次
保内维修承诺: 免费维修免费更换部件
报修承诺: 2小时响应
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