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纳米压印是一种用于制备微纳米结构的重要工艺,而纳米压印设备则是实现这一工艺的重要设备之一。它通常由上下两个压印头、样品台等部分组成。在操作时,将待加工的薄膜或表面材料放置于样品台上,在上下两个压印头的作用下施加一定的压力并通过控制温度完成所需的微纳米结构加工。 纳米压印设备的优点在于精度高、可重复性好、加工速度快、加工范围大等特点,广泛应用于微电子、MEMS(微机电系统)、生物芯片、光学器件等领域。同时,纳米压印技术也是材料、物理、化学等多个领域交叉的研究热点之一,因此在科学研究和工业生产中有着重要的地位。
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