迈纳德等离子体增强型原子层沉积系统设备MNT-P_参数

核心参数

产地类别： 国产

衬底尺寸： 4-8英寸

工艺温度： 80-300℃

前驱体数： 4-8路

重量： 500kg

尺寸(W x H x D)： 1280*800*1720mm

均匀性： 参考样品台尺寸

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产品介绍售后服务承诺用户评论问商家

反应腔体	横流模式的单腔反应腔/喷淋模式的双腔反应腔
等离子体产生方式	电容式CCP/电感耦合ICP
衬底规格	4-8寸单片三维复杂衬底/粉末与颗粒/多孔及高纵深比材料 RT-400 ^oC，控制精度±1^oC @单腔 RT-500 ^oC，控制精度±1^oC @双腔
阀门	Swagelok专用ALD阀门，耐热温度200 ^oC
前驱体源	液态、固态、气态以及臭氧源，容器标准50 mL挥发式容器和100 mL载气辅助式容器，其他规格可定制可配备4-8路前驱体源
等离子体气源	H2/O2/NH3/ N2
载气	Ar，质量流量控制器
管路源容器加热温度	配可拆卸加热套，RT-250 ^oC，控制精度±1^oC
真空系统	油泵、防腐油泵、干泵可选
压力传感器	检测范围1000-2.3*10-4 Torr
真空管路	烘烤至200℃，且真空泵前级配置热阱，加热温度300℃
控制	触摸屏+PLC
机柜	可移动铝型材框架，不锈钢面板尺寸：12808001720mm
选配	臭氧发生器/粉末沉积盘/手套箱耦合/ QCM 尾气处理装置

售后服务承诺

保修期: 1年

是否可延长保修期: 否

现场技术咨询: 无

免费培训: 3人次技术培训

免费仪器保养: 3月1次

保内维修承诺: 免费维修更换零件

报修承诺: 2小时内响应，24小时内到达现场进行维修

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