¥80万 - 100万
量伙
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半自动6英寸快速退火炉RTP
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中国大陆
仪器种类： 高真空快速退火炉
产地类别： 国产
样品尺寸： 最大支持 150mmx150mm 样品
温度范围： 1000℃
最高升温速率： 100℃/s
降温速率： 30℃/s
退火温度准确性： 0.5℃
退火温度均匀性： ±1%
看了退火炉的用户又看了
我司具有软件、自动化和机械等整套研发人员，可依据客户需求，完成定制化设备的研发生产。
工艺应用:
快速热处理(RTP)，快速退火(RTA)，快速热氧化(RTO)，快速热氮化(RTN)；
离子注入/接触退火；
高温退火；
高温扩散。
金属合金；
热氧化处理；
应用领域：
化合物半导体（砷化镓、氮化物、碳化硅等）；
多晶硅；
太阳能电池片；
MEMS；
功率器件；
IC晶圆；
LED晶圆。
保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 有
免费培训: 技术人员现场培训
免费仪器保养: 2月1次
保内维修承诺: 软件免费重装，硬件维修
报修承诺: 24小时到达
