仪器种类： 高真空快速退火炉
产地类别： 国产
样品尺寸： 最大支持150mmX150mm样品
温度范围： 1400℃
最高升温速率： 150℃/S
降温速率： 30℃/S
退火温度准确性： 0.5℃
退火温度均匀性： ±1%
看了退火炉的用户又看了
我司具有软件、自动化和机械等整套研发人员，可依据客户需求，完成定制化设备的研发生产。
客户在我司定制的第三代半导体材料氮化镓、碳化硅可用的新型快速退火炉，已在上海为客户装机调试完毕，如有需求，欢迎广大客户来电咨询定制氮化镓氮化硅快速退火炉的报价、型号、参数等。
设备规格:
6英寸快速退火炉；
适应于 2英寸-6英寸 晶圆或者支持 150mmx150mm 样品；
退火温度范围 300℃-1400℃；
升温速率 ≦150℃/sec(裸片)；
温度均匀性 ≦±1%；
常压腔体（可选配真空腔体）；
冷却方式包括水冷和氮气吹扫；
MFC控制，1-4路制程气体。
应用领域:
快速热处理(RTP)，快速退火(RTA)，快速热氧化(RTO)，快速热氮化(RTN)；
离子注入/接触退火；
金属合金；
热氧化处理；
化合物合金（砷化镓、氮化物等）；
多晶硅退火；
太阳能电池片退火；
高温退火；
高温扩散。
保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 有
免费培训: 技术人员现场培训
免费仪器保养: 2月1次
保内维修承诺: 软件免费重装，硬件维修
报修承诺: 24小时到达
