【国产】全自动12英寸多腔体快速退火炉RTP
【国产】全自动12英寸多腔体快速退火炉RTP

¥500万 - 600万

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全自动12英寸多腔体快速退火炉RTP

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中国大陆

核心参数

仪器种类: 高真空快速退火炉

产地类别: 国产

样品尺寸: 最大支持 300mmx300mm 样品

温度范围: 1250℃

最高升温速率: 100℃/s

降温速率: 30℃/s

退火温度准确性: 0.5℃

退火温度均匀性: ±1%

详细介绍:

设备规格:

全自动操作模式,机械手臂自动上片取片;

多腔体生产模式,单个腔体适应于 2英寸-12英寸 晶圆或者最大支持 300mmx300mm 样品;

退火温度范围 300℃-1250℃;

升温速率 ≦100℃/sec(裸片);

温度均匀性 ≦±1%;

真空腔体(可选配常压腔体或正压腔体);

冷却方式包括水冷和氮气吹扫;

MFC控制,3-5路制程气体。

 

工艺应用:

快速热处理(RTP),快速退火(RTA),快速热氧化(RTO),快速热氮化(RTN);

离子注入/接触退火;

高温退火;

高温扩散。

金属合金;

热氧化处理;

应用领域:

化合物半导体(砷化镓、氮化物、碳化硅等);

多晶硅;

太阳能电池片;

MEMS;

功率器件;

IC晶圆;

LED晶圆。


售后服务承诺

保修期: 1年

是否可延长保修期:

现场技术咨询:

免费培训: 技术人员现场培训

免费仪器保养: 2月1次

保内维修承诺: 软件免费重装,硬件维修

报修承诺: 24小时到达

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