单腔室FLEX1000
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ProtoFlex

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FLEX1000

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美洲

  • 金牌
  • 第19年
  • 一般经销商
  • 营业执照已审核
该产品已下架
核心参数

单腔室FLEX1000

薄膜加工:
独一无二的薄膜加工设备
Roll to Roll 沉积工具
Proto公司-客户自定义加工设备
立式预真空送样室

应用领域:
光伏
薄膜电池
MEMS
RFID
薄膜传感器
医疗器械
柔性电路板

工艺
溅射-单个/多个溅射源
等离子增强化学气相沉积(PECVD)
电感耦合沉积(ICPD)
热丝化学气相沉积(HWCVD)

多源热蒸发TE-Multi source


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