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相位调制型椭圆偏振光谱仪
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HORIBA

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UVISEL ER

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欧洲

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HORIBA（中国）
  • 白金
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仪器简介：

UVISEL ER性能优异，为先进的薄膜和器件测量提供广泛的技术支持，同时高度集成的DeltaPsi2软件平台为一系列的科学研究和工业生产应用提供完整的数据获取和分析软件包。
UVISEL光谱型椭偏仪的模块化设计使得可采用几种不同的配置，以测量Muller矩阵中的元素和偏振率。
详细指标参数可访问



技术参数：

*190nm到2100nm范围内分析测量薄膜厚度和光学常数
*单层膜和多层膜结构
*各种材料：半导体、绝缘体、聚合物、金属、玻璃、塑料
*更多的材料属性
- 组分
- 多孔性
- 渐变光学常数
- 各向异性结构、单轴和双轴薄膜
- 二维和三维的薄膜



主要特点：

UVISEL ER的高度灵活性使之适用于一系列的应用：
*材料研究
*显示器件
*半导体
*光学镀膜
*化学和生物工程设计
*动态过程研究

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