HORIBA Smart SE智能型多功能椭偏仪
HORIBA Smart SE智能型多功能椭偏仪

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HORIBA

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Smart SE

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欧洲

  • 白金
  • 第21年
  • 生产商
  • 营业执照已审核
核心参数

产地类别: 进口

仪器介绍:

多功能性设计,配置灵活,具备多角度测量能力,可方便实现在线与离线配置切换。是一款针对单层和多层薄膜进行简单,快速,精确表征和分析的工具。

技术参数:

· 光谱范围:450-1000nm

· 多种微光斑自动选择

· 光斑可视技术,可观测任何样品表面

· CCD探测器

· 自动样品台尺寸:200mmX200mm;XYZ方向

· 自动调节; Z轴高度>35mm

主要特点:

· 一键式操作,直接报告输出

·液晶调制技术,测量光路中无运动部件

· CCD 探测系统,快速全谱输出

· 多个微光斑尺寸选择,可视技术

· 多角度测量

· 可实现在线测量配置


相关方案

  • 椭偏仪是一种无损的薄膜表征方法,它可针对单层或多层光学薄膜给出膜厚、折射率、消光系数、甚至材料的带隙等丰富信息。并可表征膜中的各向异性、渐变、孔隙率等各种不均匀性。本文中,使用椭偏仪表征了TFT-LCD显示器件中透明电、液晶及a-Si各膜层。分析了透明电中的渐变层、液晶的各向异性、及a-Si的n型掺杂。

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  • Ellipsometry is a very versatile optical technique that has applications in many different fields, from the micro electronics and semiconductor industries (for characterizing oxides or photoresists on silicon wafers, for ex ample) to biology. This very sensitive measurement technique provides unequalled capabilities for thin film metrology, and has the advantage that it is non-destructive as it uses polarized light to probe the dielectr properties of a sample.

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HORIBA椭偏仪Smart SE的工作原理介绍

椭偏仪Smart SE的使用方法?

HORIBASmart SE多少钱一台?

椭偏仪Smart SE可以检测什么?

椭偏仪Smart SE使用的注意事项?

HORIBASmart SE的说明书有吗?

HORIBA椭偏仪Smart SE的操作规程有吗?

HORIBA椭偏仪Smart SE报价含票含运吗?

HORIBASmart SE有现货吗?

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