HORIBA In-situ series在线椭偏仪
HORIBA In-situ series在线椭偏仪

¥80万 - 100万

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HORIBA

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In-situ series

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欧洲

  • 一般经销商
  • 营业执照已审核
核心参数

产地类别: 进口

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HORIBA In-situ series在线椭偏仪

镀膜或刻蚀的过程中,实时监测样品膜的膜厚以及光学常数(n,k)变化。


产品特点:
将激发和探测头引入生产设备,可实现:
· 动态模式:实时监测膜厚变化
· 光谱模式:监测薄膜的界面和组分


技术参数:
可实现快速、实时在线监测样品膜层变化


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