产地类别： 进口
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北京飞凯曼公司提供光子晶体探测器型椭偏仪。这种光子晶体探测器型的椭偏仪是有日本Photonic Lattice公司首创，并应用到椭偏仪的测试中。日本Photonic Lattice公司在光子晶体的研究和制造领域领先世界，由此开发出的光子晶体探测器型椭偏仪具有测试速度快、测量准确、免维护、价格低廉等特点已经在光学薄膜、半导体薄膜、有机薄膜等领域有着广泛的应用。该椭偏仪可快速准确测量薄膜的厚度和折射率的分布。
相比传统的光谱型椭偏仪，光子晶体探测器型椭偏仪避免了探测器的机械运动。使得测试速度更快、测试更加准确、成本更加低廉。
SE-101，SE-102型都是经济小巧的桌面式椭偏仪，SE-101主要用于薄膜的单点测量,SE-102则可进行点、线和面的测量。该系列设备使用简单，免维护，价格低廉，特别适合于实验室和工艺线的在线膜厚检测。
技术规格：
型号 | SE-101 | SE-102 |
重复性精度 | 0.1nm（厚度），0.001（折射率） | |
测量速度 | 0.05秒/点 | |
光源 | 636nm半导体激光器 | |
测量点尺寸 | 1mm2 | 点线测量：0.5mm2 面测量：0.1mm2 |
入射角 | 70度 | |
样品尺寸 | 4英寸 | 4英寸，1轴自动，2轴手动 |
仪器尺寸和重量 | 250x175x218.3mm/4Kg | 300x235x218.3mm/9Kg |
数据接口 | RS-232C,千兆以太网 | |
电源 | AC100-240V（50/60Hz） | |
软件 | SE-View | |
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