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仪器简介:
HIDEN RGA/3F/PIC 系列残余气体分析四极质谱仪(Residual Gas Analysers),检测容器中的存在组分,或进行过程中产生气体的分析。针对真空诊断的精确分析。1-50amu高分辨四极杆质谱。
· 残余气体或泄漏检测
· 实际泄漏或脱附分析
· 除气研究
· 烘烤周期
· 泵效能
· 腔室/过程气体污染物
主要特点:
· 灵敏度PPM,质量数至300amu
· 稳定性(24小时以上,峰高变化小于±0.5%)
· MASsoft软件控制,或由局域网进行多个系统控制
·阈值离子化模式分析D2/He
· 快速显示柱状图、趋势分析和信号峰
· 混合模式扫描-多个windows窗口显示信息,例如趋势、柱状图和信号峰
· 同步显示数据图,列表
· 同步背景扣除,自动质量数列表
· 数据输出为ASCII格式,至windows设备
· 即时动态数据交换至其他DDE兼容的windows软件,例如
· Excel、SPC-IV统计过程控制软件等
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