在线量子级联激光器气体分析仪
Q-MACS Process是德国Neoplas公司研发的一套用于工业过程中在线监测的量子级联激光器监测系统。
应用:
· 过程监控和表面处理的控制
· 光伏发电和半导体工业中的腔匹配
· 通过在线的蚀刻深度的控制测量来监控蚀刻过程
· 化工和冶金生产中的气体注入和气体混合的控制
· 现场密封性检测
特点:
· 装配的三通道设置改进了信噪比，能达到长时间的稳定性
· 装备红外光源的三通道红外光谱仪
· 激光器和检测器在室温下运行不需要大范围冷凝
· 简洁的，模块化的，可以扩展，容易使用
· 实时测量绝对的分子浓度
· 在生产过程中的进行质量管理，而不是通过下流程的验收抽样来管控质量
· 测量的物质有：CxHy, CO, CO2, NO, NO2, N2O, NH3, NF3, BCl3, B2H6, SiF4, COCl2…
技术规格：
· 灵敏度：ppb范围
· 时间分辨率：毫秒级
· 脉冲宽度：8ns…256ns
· 脉冲频率：最大1MHZ
