二次离子质谱

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二次离子质谱（Secondary Ion Mass Spectrometry，SIMS）是一种高灵敏度、高分辨率的表面分析技术。它利用原子团簇轰击样品表面，将其表面上的原子或分子击出，并通过质谱仪进行分析和检测。 在SIMS分析中，最常用的是离子束轰击样品表面，使表面分子、原子在线电离成二次离子。经过加速和分离后，这些离子进入质谱仪，经过检测和分析，得到样品表面的化学组成和分布信息。由于离子束具有非常小的直径和高的能量密度，因此SIMS技术可以对非常细微的区域进行分析，同时可以提供元素和分子的化学状态、空间分布以及定量分析等信息。 二次离子质谱广泛应用于材料科学、生物科学、环境科学、半导体工业、地质学和天文学等领域，在新材料开发、生物医药研究、半导体器件制造以及石油勘探等方面具有重要的应用价值。