¥10万
英铂科学仪器
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极低温闭循环真空探针台 (CPS-50)
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中国大陆
产品类别： 温控探针台
操作类型： 手动
可测圆片尺寸： 2"晶圆
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此类闭循环制冷机不需要消耗液氦和液氮，CPS-50探针台的温度变化范围 5/10K 到 350，加上一个可以更换的高温样品架选件，温度变化范围可达到 20K 到 700K。每一个低温样品级都安装温度计和加热器，可以提供快速的热响应，迅速回到室温，样品更换非常方便。热辐射屏大大降低了黑体辐射，提高了制冷效率。系统采用了精心的设计来降低振动，采用各种减震装置阻止机械振动影响测量的性能，在全量程温度范围内，样品的振动小于 1um ( X, Y, Z 轴)。专用的探针根据尺寸和材料不同，分为多种类型，探针减少了热质量，优化了和器件的电接触性，每个探针都直接和冷头进行导热，这样就减小了探针对样品的热传递。
1、采用闭循环制冷机制冷，不需消耗任何液氮和液氦，基本系统温度范围：标准 10K/5K 到 350K
2、高温选件温度范围：20K 到 700K
3、系统冷却时间<2.5 小时
4、探针臂分别在防辐射屏和样品台上热沉
5、探针臂传上安装温度感器进行温度监测
6、控温稳定性： ±50mK
7、样品更换循环时间4 小时
8、低振动设计：在样品台<1 μm ( X, Y, Z 轴)
9、测量 DC 到 67GHz
10、各种样品架适于低噪音，高频，高阻测量
11、最大测试样品尺寸 51mm (2in) 直径
12、最多可使用6 个探针臂
13、射频探针臂可进行 3 轴调整和平面内±5 度的调整
1、快速的热响应
2、可方便的更换样品
3、制冷效率大大提高
4、振动幅度有效降低
主要应用于样品在整个温度范围内的IV和CV曲线测试，光电测试，表征变磁环境下的磁输运特性和其他材料的研究。
产品货期: 180天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
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