操作类型: 全自动
可测圆片尺寸: 4,6,8,12英寸
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Scorpio HCI/BTI/GOI/TDDB晶圆级可靠性测试系统,附加快速VTDDB和多电压电平VSILC功能,允许连续应力偏置,和短时间开隔监测,用在晶圆级应用的高分辨率击穿时间。
Scorpio- HCI / BTI / TDDB / hiVIP
达288个待测器件 (DUT) 的并行封装级可靠性测试
并行晶圆级测试与单通道有16个站点的25个通道 (共400个通道)
可配置4个烤箱或与烤箱/探针台混合设置
每通道源标准配置25V/0.1A,或每板源高电压达200V/1.0A
所有低泄漏电通道降低到1pA/V,用于栅极泄漏 (gate leakage) 和流出关闭状态 (drain off-state) 电流测试
无假器件故障的系统级EOS/ESD保护
资格验证能力
正反向漏电源测试和栅级/基底电流表征的热载子注入可靠性
支持 on-the fly OTF-NBTI 和专用测试方法
低漏电流经时电介质击穿 (TDDB) 的应力诱生漏电流测试 (SILC tests) , 量测可低至10pA
高压金属氧化物半导体热载流子效应,或金属介电层经时电介质击穿, 最高至200V
保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 有
免费培训: 面议
免费仪器保养: 面议
保内维修承诺: 面议
报修承诺: 面议
易捷测试探针台Scorpio 的工作原理介绍
探针台Scorpio 的使用方法?
易捷测试Scorpio 多少钱一台?
探针台Scorpio 可以检测什么?
探针台Scorpio 使用的注意事项?
易捷测试Scorpio 的说明书有吗?
易捷测试探针台Scorpio 的操作规程有吗?
易捷测试探针台Scorpio 报价含票含运吗?
易捷测试Scorpio 有现货吗?
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