产品类别： 温控探针台
操作类型： 全自动
可测圆片尺寸： 45mm~300mm
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INSTEC 2寸~12寸 晶圆加热盘
产品简介
INSTEC 2寸~12寸 晶圆加热盘结构紧凑，可集成到晶圆探针台上，设计用于探针测试，可编程控温，涵盖不同温度段（具体由型号而定），适用不同尺寸晶圆的真空吸附槽设计，最低可降温至 80K，可选三同轴接口，以实现pA级测试，可从温控器或电脑软件控制，可提供软件SDK。
选型表
型号 | 台体尺寸 | 适用样品尺寸 | 重量 kg | 温控 *负温需液氮系统 | 最大变温速度 | |||
最小 | 最大 | 最低 | 最高 | 加热 | 制冷 | |||
HCC206R/RF | 200 mm x 176 mm x 32.62 mm | 45mm | 150mm | 2.0 | -100°C | 200°C | +30°C/min | -15°C/min |
HCC206RT | 200 mm x 176 mm x 32.62 mm | 45mm | 150mm | 2.5 | -80°C | 200°C | +15°C/min | -8°C/min |
HCC306R/RF | 200 mm x 176 mm x32.62 mm | 45mm | 150mm | 2.0 | -100°C | 300°C | +30°C/min | -15°C/min |
HCC306RT | 200 mm x 176 mm x32.62 mm | 45mm | 150mm | 2.5 | -80°C | 300°C | +15°C/min | -8°C/min |
HCC208R/RF | 250 mm x 200 mm x 32.5 mm | 100mm | 200mm | 3.5 | -80°C | 200°C | +50°C/min | -5°C/min |
HCC208RT | 250 mm x 200 mm x 32.5 mm | 100mm | 200mm | 4.0 | -80°C | 200°C | +15°C/min | -3.5°C/min |
HCC308R/RF | 250 mm x 200 mm x 32.5 mm | 100mm | 200mm | 3.5 | -80°C | 300°C | +50°C/min | -5°C/min |
HCC308RT | 250 mm x 200 mm x 32.5 mm | 100mm | 200mm | 4.0 | -80°C | 300°C | +15°C/min | -3.5°C/min |
HCC20CR/RF | 365 mm x 325 mm x 40 mm | 100mm | 300mm | 8.0 | -60°C | 200°C | +15°C/min | -1.5°C/min |
HCC20CRT | 365 mm x 325 mm x 40 mm | 100mm | 300mm | 10.0 | -60°C | 200°C | +12°C/min | -1.2°C/min |
HCC30CR/RF | 365 mm x 325 mm x 40 mm | 100mm | 300mm | 8.0 | -60°C | 300°C | +15°C/min | -1.5°C/min |
保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 有
免费培训: 按客户需求人数培训
免费仪器保养: 1年校准1次
保内维修承诺: 非人为损坏免费维护
报修承诺: 2小时内响应
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