产品类别: 温控探针台
操作类型: 手动
可测圆片尺寸: 2"晶圆
看了探针台的用户又看了
低温探针台可以对器件进行非破坏性的测试,器件的最大尺寸可达到102mm(4inch)。一般来讲, 纳米电子材料、量子线、量子点和半导体材料是在低温探针台在进行测量的比较典型的材料。系统的探针、测试电缆、样品架都有多种类型可供选择,从而满足不同用户的需要。
1、系统可使用液氮或液氦制冷,基本系统温度 范围:4.2/77 K to 500 K
2、高温选件,温度范围可到 20K-700K
3、¢5mm(0.2 in)光学样品架,可以从背面照射样品
4、样品台旋转选件,旋转角度±180 度,角度分辨率
5、0.1 度,可选手动或电动旋转
6、测量 DC 到 67GHz
7、最大测试样品尺寸 51mm 直径
8、最多可使用 6 个探针臂
9、探针臂上安装温度感器进行温度监测
10、控温稳定性: ±50mK
11、探针臂 3 轴方向可调节,并可进行面内±5°旋转
1、电缆、屏蔽和 Guard 保护进一步减少了电噪声和热辐射损失
2、支持未来升级闭循环,可将温度范围扩展到 4k
3、控温稳定性大大增强
4、实时进行温度检测
它为材料或器件的电学特性测量、光电特性测量、参数测量、 high Z 测量、DC 测量、RF 测量和微波特性测量提供一个测试平台。
产品货期: 180天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
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