德国Osiris CHEMIXX 760型大尺寸清洗系统
德国Osiris CHEMIXX 760型大尺寸清洗系统

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Osiris

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CHEMIXX 760型

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欧洲

  • 金牌
  • 第6年
  • 一般经销商
  • 营业执照已审核
核心参数

n产品简介 

CHEMIXX  760系统是一款大尺寸湿法系统,支持最大样品达535X535mm(21寸方片),更大的样品尺寸可定制,一台系统可实现清洗、蚀刻 、显影 ,干燥整个工艺过程。

 

n产品特色

÷ 基板尺寸高达 535 x 535 mm/21 x 21 inch

÷ 手动装载半自动系统

÷ 两个用于化学液输送和机械清洗的电动输送臂

÷ 提供多种喷嘴,spray,puddle,喷雾,5孔碰头等

÷ 低接触或定制夹具

÷ 化学液具有加热功能,最高 60°C (85°C) 

÷ 集成三种不同化学液供液系统,外部液体罐可选

÷ 手动灌装或通过批量灌装系统

÷ 工艺室外的手动去离子水枪

÷ 去离子水室冲洗

÷ 系统前端的紧急停止按钮

÷ 传感器控制的 3 路排水系统可通过配方进行编程。

÷ 带有三个光区的信号灯,用于系统状态的可视化

÷ 支持化学液清洗,兆声清洗,PVA刷洗,吹干等工艺

÷ 满足洁净室等级 10 (ISO 4) 的一般设计

 

n技术数据

÷ 衬底尺寸最大可达 535 x 535 mm / 21 x 21 inch

÷ 电机转速最大 3.000 rpm步长 1 rpm

÷ 电机加速最大 2.000 rpm/s,步长 1 rpm/s

÷ 步进时间: 1  999.9 秒,步长为 0.1 

÷ 工艺腔室材料 PP (可选 PVDF)

 

                      


售后服务承诺

保修期: 1年

是否可延长保修期:

现场技术咨询:

免费培训: 培训人数不限

免费仪器保养: 半年1次

保内维修承诺: 免费维修更换零配件

报修承诺: 接到用户产品维修需求,3小时内做出反应。

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Osiris湿法清洗设备CHEMIXX 760型的工作原理介绍

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OsirisCHEMIXX 760型多少钱一台?

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