匀胶机(大尺寸)

仪器简介：

匀胶机（spin coater）有许多名称：甩胶机、涂胶机、涂层机、旋转涂胶机。其工作原理是高速旋转基片, 利用离心力使滴在基片上的胶液均匀的涂在基片上, 厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同, 也和旋转速度及时间有关。

匀胶机适用于半导体、硅片、晶片、基片、导电玻璃，钙钛矿（OPV）太阳能电池, FPD（OLED,LCD,Micro LED)......可在企业、科研、教育等单位作生产、科研、教学之用。

特点：

- 精确的涂层系统 

- 人性化设计，操作方便简单 

- 高达 100 步进及 100 个程序编辑方案 

- 转速J准控制 

- 高均匀性＆高重复性 

- 仪器腔体采用不锈钢材料，耐腐蚀，并进行了防反溅设计 

- 根据需要可设计成自动清洗,自动干燥 

- 采用交流控制，转速更J准 

- 可设计成通入惰性气体 

- 可设计成自动滴胶系统

主要规格参数：

- 样品尺寸：  ~ 12"（4",8",10" ,16"，200*200mm,370*470mm....更多尺寸可定制）

- 旋转速度 :  30~5,000rpm

- 速度精度 : < ±0.5rpm                                                                                        

- 速度递增：0.1rpm

- 存储（recipes）:1,000 files

- 甩涂步进（max）:100 step (1file)

- 加速度：3.0~3,000.0sec

- 减速度：3.0~3,000.0sec 

- Last-Deceleration： 可选择 *自然减速 或 * 时间减速方式进行驱动

- 显示：7"彩色触控屏

- 运行时间：1.0~3,000sec

- Drain（tubing-type）:Yes

- 自旋真空外壳系统：Yes

- 防震系统：Yes

- 压力传感器&显示：Yes

- 盖传感器-孔和盖子系统：Yes

- 真空调节阀：Yes

- 真空泵：无油泵

- 重量：120Kg

- 尺寸：1,080*770*770mm

- 其他事项跟根据客户需求进行协商定制.