SPS-EUROPE 匀胶机

德国SPS-EUROPE 匀胶机

品概述

德国SPS-EUROPE公司匀胶机具有转速稳定，启动快速，涂胶一致性和均匀性好等特点，广泛应用于半导体、化工材料、硅片、晶片、基片、导电玻璃等工艺制版表面涂覆。

工作原理

匀胶机（spin coater）的工作原理是高速旋转基片，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀的涂在基片上，匀胶机常用于各种溶胶凝胶（Sol-Gel）实验中的薄膜制作，厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同，也和旋转速度及时间有关。

独有特征

u 可编程全尺寸彩色触摸屏控制器，可拆卸，耐化学试剂腐蚀。速度、加速和时间可编程；无限量程序存储空间，可存储旋涂多步骤工作协议，具有协议密保功能。

u 可编程转速范围: 1rpm-12,000rpm，转速参数设置范围广，高精确性旋转速度 (± 0.1 rpm)。

u 数字电机控制，带增速数字显示信号反馈，以避免转速过量，从而提升涂膜的品质。

u 防静电PET透明衬套，杜绝工作仓室的交叉污染。

u 一体化结构设计,壳体采用α-聚丙烯(NPP-H)材质，传动系统采用工程塑料材质，寿命长耐腐蚀。

u 采用经过热处理透明玻璃盖。玻璃盖带弹簧可自动将盖子固定在理想位置，玻璃盖上带注射器固定架和氮气扩散器，注射器固定架以固定的位移距离和位置注入抗蚀剂/化学试剂，氮气扩散器在旋涂过程可注入到工作舱氮气/氩气，工作舱环境可控。

u 安全互锁装置：工作舱盖锁止，舱盖打开旋转自动停止，真空不足或没有真空旋转自动停止，过载保护。

u USB端口：可上传和下载旋涂协议和软件。

u 三个外接控制端口，可用于接入注入单元自动控制，氮气扩散器控制等。

u 产品通过CE认证。

技术参数