仪器种类： 国产等离子体表面处理仪
射频频率： 40KHz
功率： 10-300W
设备尺寸： L618xW520xH465mm
样品腔容积： 5L
样品腔材质： 石英真空仓
工作气体： Ar、N₂、O₂、H₂等（可选）
控制方式： 双浮子流量计，双路控制气体流量
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CIF推出电感耦合等离子清洗机，其外观美学设计，结构紧凑，漂亮大气，优化的腔体结构及合理的结构设计，使得处理样品量更大，适用范围更广，性能更稳定，操作更简便，性价比更高，使用成本更低，实用性更强，更容易维护。在材料学，光学，电子学，医药学，环境学、生物学等科研领域，主要用于材料表面进行清洗、活化、改性等目的。
产品特点：
u PLC工控机控制整个去胶过程，全自动进行。
u 7寸彩色触摸屏互动操作界面，图形化用户操作界面显示，自动监测工艺参数状态，0~99个配方程序，可存储、输出、追溯工艺数据，机器运行、停止提示。手动、自动两种工作模式。
u 采用石英真空仓，全真空管路系统采用316不锈钢材质，耐腐蚀无污染。
u 自动匹配器，功率无极可调。
u 采用美国德威尔（Dwyer）气体浮子流量计，双路气体控制气体流量，可输入氧气、氩气、氮气、氢气或混合气等气体，气体分配均匀，经济实用。
u 符合人体功能学的60度倾角操作界面设计，操作方便，界面友好。
u 上控制下舱体上下结构设计，结构更合理，占用实验室空间小。
u 内凹式前面板设计，有效保护流量计和舱门运输过程中不易损坏。
u 处理高效均匀，效率高，工艺重复性好。
u 样品处理温度低，无热损伤和热氧化。
u 安全保护，仓门打开，自动关闭电源。
技术参数
型号 | ICP-5 | ICP-5plus |
舱体尺寸 | D260xΦ155mm | D260xΦ155mm |
舱体容积 | 5L | 5L |
射频电源 | 40KHz | 13.56MHz |
匹配器 | 自动匹配 | 自动匹配 |
激发方式 | 360度外置环绕电极，电感耦合 | 360度外置环绕电极，电感耦合 |
射频功率 | 10-300W可调 | 10-150W可调 |
z大处理尺寸 | L260xW155mm | L260xW155mm |
气体控制 | 双浮子流量计，双路控制气体流量 | |
工艺气体 | Ar、N?、O?、H?等（可选） | |
产品尺寸 | L618xW520xH465mm | |
包装尺寸 | L750xW640xH570mm | |
时间设定 | 1-99分59秒 | |
真空泵 | 抽速约8m3/h | |
气体稳定时间 | 1分钟 | |
真空度 | 100pa以内 | |
电 源 | AC220V 50-60Hz，所有配线符合《低压配电设计规范 GB50054-95》、《低压配电装置及线路设计规范》等国标标准相关规定。 | |
保修期: 1年
是否可延长保修期: 否
现场技术咨询: 有
免费培训: 有
免费仪器保养: 根据客户需求
保内维修承诺: 保期内免费更换零件
报修承诺: 24小时内响应
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