雅马拓Yamato 等离子清洗机 V1000XS
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雅马拓科学

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V1000XS

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亚洲

核心参数

· 13.56MHz 高频输出的等离子清洗机,搭载RIE·DP 双模式。

· 可变更电极构造提高等离子效果。

· 搭载高精度适配器,高性能RF电源。

· 可根据需求规格提供定制。


【用途】

① 硅晶圆的灰化及蚀刻;② 基板表面污垢处理;③ IC/LED封装、BGA/CSP基板处理;

④ 半导体相关部品的电子材料的干式清洗;⑤ 自然氧化膜·有机物去除;

⑥ 界面活性处理;⑦ 表面污染物去除;


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售后服务承诺

产品货期: 120天

整机质保期: 1年

培训服务: 额外提供免费培训

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