仪器种类： 进口等离子体表面处理仪
射频频率： 40KHZ
功率： 50W
样品腔容积： φ100mm×200mmD
样品腔材质： 石英
工作气体： 1路
控制方式： 半自动
Microwave Plasma： 微波等离子体
underfill plasma： 欠填充等离子体
wafer plasma： 晶片等离子体
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等离子清洗机YAMATO等离子清洗机PM100产品介绍：
■ 操作性·功能
● 40Khz 0-50W机型，可以覆盖实验室大部分的清洗、活化工艺。
● 标准配备数字式皮拉尼传感器，实时显示真空度，使得控制更为精确。
● 标配石英腔体，非常适合于实验室处理比较纯净的样品，无需担忧因为腔体材质的原因导致样品受到污染。
■ 安全性·保护
● 装载有温度、压力、等离子发生器异常等三层报警灯，可实时监测和了解机器的运转状态。
● 装载有过电流漏电保护开关、自诊断回路、异常时蜂鸣器报警等安全功能。
■ 等离子清洗机YAMATO等离子清洗机PM100规格
型号 | PM100 | |
方式 | 圆柱形腔体 | |
性能 | 发生器功率： | 0-50W |
发生器频率： | 60Khz | |
输出电压： | 10KV | |
构成 | 腔体材质： | 石英 |
腔体内尺寸： | φ100×L200mm | |
反应气体： | 一路工艺气体，可支持氧气、氩气、氮气等非腐蚀性气体。 | |
控制方式： | 半自动控制 | |
真空度显示： | 数字式皮拉尼传感器，实时显示腔体内真空度。 | |
配管材质： | SUS不锈钢以及特氟龙 | |
门： | 铰链门带观察窗 | |
外形尺寸： | W310×D300×H448mm | |
真空泵抽速： | 4m3/hour | |
电源规格： | AC100V 10A | |
重量： | 约25kg | |
附属品 | 真空管件一套、真空转接接头一套、试料托盘一枚。 | |
| 用户单位 | 采购时间 |
|---|---|
| 中科都菱 | 2023-02-23 |
| 永诺生物 | 2023-06-22 |
| 美国orion | 2023-10-11 |
| 德国海道尔夫(Heidolph)公司 | 2022-07-13 |
| 德祥科技-Think-lab | 2023-08-13 |
| 日本kashiyama | 2023-10-18 |
| 浙江省林业科学研究院 | 2019-12-24 |
| 南京大学 | 2019-01-01 |
产品货期: 30天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
电话支持响应时间: 24小时内
是否支持上门巡检: 是
是否提供预防性维护计划: 是
雅马拓表面处理仪PM100的工作原理介绍
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