YES–EcoClean等离子剥离/脱胶系统
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YES–EcoClean等离子剥离/脱胶系统

¥5万 - 10万

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耶斯

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YES–EcoClean

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美洲

  • 金牌
  • 第5年
  • 一般经销商
  • 营业执照已审核
核心参数

仪器种类: 进口等离子体表面处理仪

射频频率: 0/1000

功率: 1000

设备尺寸: 56.69*71.12*113.28

样品腔容积: 63.71

样品腔材质: 玻璃/柔性基板/芯片底部填充清洁

工作气体: 1/2/3/4

控制方式: 自动

EcoClean系统为当今和下一代技术创建了先进的解决方案,为工程师提供了晶片的灵活性和可靠性:

•去除光刻胶
•公关目的
•聚酰亚胺去除
•有机物去除
•氧化铜去除

Yield Engineering Systems(YES)已将EcoClean设计为高产量,拥有成本低的单晶圆光刻胶去除系统。 ICP远程源产生原子氧,该氧与晶片表面的光刻胶发生化学反应。 通过采用下游抗蚀剂剥离工艺,可以实现高去除率,而不会造成基板和器件的电损坏或缺陷。 EcoClean提供了自动化的处理方法,气体消耗低,是一种环保的“绿色”解决方案。


售后服务承诺

产品货期: 15天

整机质保期: 1年

培训服务: 安装调试现场免费培训

安装调试时间: 到货后3天内

电话支持响应时间: 1小时内

是否提供维保合同:

维修响应时间: 3天内

节假日是否提供上门服务:

是否支持上门巡检:

是否提供预防性维护计划:

是否提供期间核查方案:

是否提供免费应用支持:

是否提供付费应用支持:

是否提供线上售后平台:

维修付款方式: 先维修后付款

基本维修资料公开: 维修图纸;技术参数;专用工具;故障代码;维修手册

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耶斯表面处理仪YES–EcoClean的工作原理介绍

表面处理仪YES–EcoClean的使用方法?

耶斯YES–EcoClean多少钱一台?

表面处理仪YES–EcoClean可以检测什么?

表面处理仪YES–EcoClean使用的注意事项?

耶斯YES–EcoClean的说明书有吗?

耶斯表面处理仪YES–EcoClean的操作规程有吗?

耶斯表面处理仪YES–EcoClean报价含票含运吗?

耶斯YES–EcoClean有现货吗?

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