仪器种类: 进口等离子体表面处理仪
射频频率: 0/1000
功率: 1000
设备尺寸: 56.69*71.12*113.28
样品腔容积: 63.71
样品腔材质: 玻璃/柔性基板/芯片底部填充清洁
工作气体: 1/2/3/4
控制方式: 自动
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EcoClean系统为当今和下一代技术创建了先进的解决方案,为工程师提供了晶片的灵活性和可靠性:
•去除光刻胶
•公关目的
•聚酰亚胺去除
•有机物去除
•氧化铜去除
Yield Engineering Systems(YES)已将EcoClean设计为高产量,拥有成本低的单晶圆光刻胶去除系统。 ICP远程源产生原子氧,该氧与晶片表面的光刻胶发生化学反应。 通过采用下游抗蚀剂剥离工艺,可以实现高去除率,而不会造成基板和器件的电损坏或缺陷。 EcoClean提供了自动化的处理方法,气体消耗低,是一种环保的“绿色”解决方案。
产品货期: 15天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
安装调试时间: 到货后3天内
电话支持响应时间: 1小时内
是否提供维保合同: 是
维修响应时间: 3天内
节假日是否提供上门服务: 是
是否支持上门巡检: 是
是否提供预防性维护计划: 是
是否提供期间核查方案: 是
是否提供免费应用支持: 是
是否提供付费应用支持: 是
是否提供线上售后平台: 是
维修付款方式: 先维修后付款
基本维修资料公开: 维修图纸;技术参数;专用工具;故障代码;维修手册
耶斯表面处理仪YES–EcoClean的工作原理介绍
表面处理仪YES–EcoClean的使用方法?
耶斯YES–EcoClean多少钱一台?
表面处理仪YES–EcoClean可以检测什么?
表面处理仪YES–EcoClean使用的注意事项?
耶斯YES–EcoClean的说明书有吗?
耶斯表面处理仪YES–EcoClean的操作规程有吗?
耶斯表面处理仪YES–EcoClean报价含票含运吗?
耶斯YES–EcoClean有现货吗?
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