¥150万 - 200万
NANONEX
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Lumina-200
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美洲
看了电子束曝光机的用户又看了
Lumina-200独立式高分辨率光刻/对准器。 Lumina系列为电子，光电，MEMS和许多其他应用中的高分辨率，精确对准，接触和接近光刻提供了高质量，可靠且经济高效的解决方案。 它具有易于使用的界面，高精度的载物台，高性能的光学元件和较小的占地面积。
主要特点
高分辨率光刻
高精度对准平台
最先进的对准光学
精确的间隙控制
用户友好的PC控制
占地面积小
具有成本效益的设计
背面对齐可选
应用领域：半导体器件 *微机电系统 *光电子学 *高级包装 *电力设备
手册X-Y-? 带称重传感器的电动Z 移动范围： X和Y：1英寸 ?：10度 Z：0.25英寸 掩膜加载能力 5”口罩标准 其他尺寸可选 基板装载能力 4”标准 其他尺寸可选 对准 模式：接近、柔和、硬 对准光学 分割栏 5倍物镜，1到7倍变焦 2个独立的手动X，Y，Z显微镜移动 精细粗调 通过CCD相机成像 曝光系统 紫外线：汞灯，带有可选的G线或I线过滤器 紫外线灯功率：500瓦 紫外线均匀照射 电动紫外线灯移动 具有Microsoft Windows的基于PC的控制计算机 用户友好的控制软件 PC控制的CCD视频 紫外线灯曝光由电脑控制 占地面积：31英寸乘44英寸（780毫米乘1110毫米）
产品货期: 15天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
安装调试时间: 到货后3天内
电话支持响应时间: 1小时内
是否提供维保合同: 是
维修响应时间: 3天内
节假日是否提供上门服务: 是
是否支持上门巡检: 是
是否提供预防性维护计划: 是
是否提供期间核查方案: 是
是否提供免费应用支持: 是
是否提供付费应用支持: 是
是否提供线上售后平台: 是
维修付款方式: 先维修后付款
基本维修资料公开: 维修图纸；技术参数；专用工具；故障代码；维修手册
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