仪器种类： 国产等离子体表面处理仪
射频频率： 13.56MHz
功率： 500W
样品腔容积： 1.6L
样品腔材质： 不锈钢
工作气体： 3路
控制方式： 自动
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透射电镜等离子清洗仪SPC150概述
进口品牌涡轮分子泵和无油隔膜泵的完美配合产生一个洁净的<3*10-6 Torr的真空压强。特别适用于TEM
样品杆的真空存储、检漏和样品等离子体清洗用途。采用远程射频离子源清洗，高效、低等离子体轰击损伤。标配三路清洗气体流量控制器，触摸屏控制，即插即用。
等离子清洗仪SPC150有机污染物清洗原理
SPC150 采用RF射频远程等离子源作为核心部件。离子源通过RF射频电源将通入的空气离化，离化后产生的O活性自由基、O3臭氧及氧等离子体等强氧化粒子与样品表面有机污染物（碳氢化合物）发生化学反应，生成CO2，CO，H2O并被真空泵组抽出，最终实现样品表面有机污染物清洗之目的。
等离子清洗仪SPC150表面改性亲水化原理
离子源通过RF射频电源将通入的空气离化，离化后产生的等离子体与样品表面作用，提高样品表面能，实现样品表面由疏水性到亲水性的转变。
等离子清洗仪SPC150测试结果
半导体 2018-01-16
半导体 2018-01-16
| 用户单位 | 采购时间 |
|---|---|
| 郑州大学 | 2022-04-29 |
| 山东大学 | 2021-12-09 |
| 中科院大连化学物理研究所 | 2021-11-04 |
| 中科院青岛能源所 | 2021-09-21 |
| 湖南大学 | 2021-08-19 |
| 武汉理工大学 | 2021-04-30 |
| 南开大学 | 2021-04-23 |
| 北京理工大学 | 2021-03-17 |
| 西安理工大学 | 2021-03-10 |
| 南方科技大学 | 2021-01-06 |
| 北京航空航天大学 | 2020-11-13 |
| 清华大学 | 2020-09-18 |
| 南开大学 | 2020-09-08 |
| 聊城大学 | 2020-08-27 |
| 厦门大学 | 2020-07-22 |
| 桂林电子科技大学 | 2020-05-27 |
| 中国计量科学研究院 | 2020-04-15 |
| 北京工业大学 | 2020-03-26 |
| 上海大学 | 2020-03-19 |
| 深圳信息职业技术学院 | 2020-03-05 |
| 中科院金属所 | 2020-02-28 |
保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 有
免费培训: 5人次以内培训
免费仪器保养: 6个月一次
保内维修承诺: 免费维修更换零件
报修承诺: 24小时到达现场并维修
【速普仪器】电镜腔体原位等离子清洗仪RPS50
型号：RPS50 18万
【SuPro】电镜样品等离子清洗仪spc150
型号：SPC 150 50万
【SuPro】离子溅射仪/喷金仪 ISC150
型号：ISC150 8万
速普仪器【SuPro】TEM样品杆真空存储站
型号：THS05 12万进口品牌涡轮分子泵和无油隔膜泵的完美配合产生一个洁净的<3*10-6 Torr的真空压强。特别适用于TEM 样品杆的真空检漏和样品等离子体清洗用途。采用远程射频离子源清洗，高效、低等离子体轰击损伤。标配两路清洗气体流量控制器，触摸屏控制，即插即用。
进口品牌涡轮分子泵和无油隔膜泵的完美配合产生一个洁净的<3*10-6 Torr的真空压强。特别适用于TEM 样品杆的真空检漏和样品等离子体清洗用途。采用远程射频离子源清洗，高效、低等离子体轰击损伤。标配两路清洗气体流量控制器，触摸屏控制，即插即用。
速普仪器表面处理仪SPC的工作原理介绍
表面处理仪SPC的使用方法?
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表面处理仪SPC使用的注意事项？
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速普仪器表面处理仪SPC报价含票含运吗？
速普仪器SPC有现货吗？
