产地类别： 国产
靶材材质： C，Au，Pt等
靶材尺寸： φ30mm或一英寸
控制方式： 自动
样品仓尺寸： ~100*100*200mm；双腔体
样品台尺寸： φ50mm
溅射气体： Ar
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桌面级SEM扫描电镜用多功能离子溅射仪，特别适用于FE-SEM高分辨扫描电镜样品的喷金以及样品等离子体清洗等多种用途。采用分子泵泵组获得< 9*10-6 Torr本底真空，可以在mTorr气压下实现磁控溅射喷金，获得更为细腻的金膜，以满足FE-SEM高分辨扫描电镜等样品处理。同时具备远程RF 射频离子源实现样品清洗，高效、低等离子体轰击损伤。
核心部件采用国际一流品牌无油分子泵组，静音、无需操心真空系统和操作间环境泵油污染。保证设备具有优异的质量与稳定可靠性。触摸屏界面操作，即插即用。
