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核心参数
产地类别： 进口
旋转速度： 0.1-99999秒/步
旋转精度： 0.1
最大加速度： 1-30,000rpm/秒
基片直径： 160
腔体直径： 202
德国SPS-EUROPE 匀胶机
品概述
德国SPS-EUROPE公司匀胶机具有转速稳定，启动快速，涂胶一致性和均匀性好等特点，广泛应用于半导体、化工材料、硅片、晶片、基片、导电玻璃等工艺制版表面涂覆。
工作原理
匀胶机（spin coater）的工作原理是高速旋转基片，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀的涂在基片上，匀胶机常用于各种溶胶凝胶（Sol-Gel）实验中的薄膜制作，厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同，也和旋转速度及时间有关。
独有特征
u 可编程全尺寸彩色触摸屏控制器，可拆卸，耐化学试剂腐蚀。速度、加速和时间可编程；无限量程序存储空间，可存储旋涂多步骤工作协议，具有协议密保功能。
u 可编程转速范围: 1rpm-12,000rpm，转速参数设置范围广，高精确性旋转速度 (± 0.1 rpm)。
u 数字电机控制，带增速数字显示信号反馈，以避免转速过量，从而提升涂膜的品质。
u 防静电PET透明衬套，杜绝工作仓室的交叉污染。
u 一体化结构设计,壳体采用α-聚丙烯(NPP-H)材质，传动系统采用工程塑料材质，寿命长耐腐蚀。
u 采用经过热处理透明玻璃盖。玻璃盖带弹簧可自动将盖子固定在理想位置，玻璃盖上带注射器固定架和氮气扩散器，注射器固定架以固定的位移距离和位置注入抗蚀剂/化学试剂，氮气扩散器在旋涂过程可注入到工作舱氮气/氩气，工作舱环境可控。
u 安全互锁装置：工作舱盖锁止，舱盖打开旋转自动停止，真空不足或没有真空旋转自动停止，过载保护。
u USB端口：可上传和下载旋涂协议和软件。
u 三个外接控制端口，可用于接入注入单元自动控制，氮气扩散器控制等。
u 产品通过CE认证。
技术参数
型号 | SPN150i | SPN200i |
控制方式 | 全彩触摸屏控制界面 | 全彩触摸屏控制界面 |
结构材质 | 聚丙烯(NPP-H)材质 | 聚丙烯(NPP-H)材质 |
旋转速度 | 1-12000rpm ±1rpm steps | 1-12000rpm ±1rpm steps |
旋转精度 | ±0.1rpm | ±0.1rpm |
旋转方向 | 顺时针，逆时针，交换摆动 | 顺时针，逆时针，交换摆动 |
加速/减速 | 1-30,000rpm/秒 (每步可选) | 1-30,000rpm/秒 (每步可选) |
旋转时间 | 0.1-99999秒/步 | 0.1-99999秒/步 |
基片范围 | 160mm 或6"直径或4"x4"方片 | 260mm 或6"直径或6"x6"方片 |
腔体直径 | 202mm | 302mm |
外接控制端口 | 3个 | 3个 |
真空开关 | 有 | 有 |
外形尺寸 | 27.5x45.0x25.0cm(WxDxH) | 380x559x307cm(WxDxH) |
匀胶机spin coater的工作原理介绍
匀胶机spin coater的使用方法?
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企业名称
华仪行（北京）科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
91110106085450966N
成立日期
2014-02-24
注册资本
1005
经营范围
技术开发、技术咨询、技术服务；销售仪器仪表、化工产品、玻璃制品、教学设备、办公设备、电子产品、五金交电、计算机软硬件；维修仪器仪表；货物进出口。
华仪行（北京）科技有限公司
公司地址
丰台区科兴路7号国际企业孵化中心301室
客服电话
公司名称： 华仪行（北京）科技有限公司
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