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CIF 推出的新一代科研型等离子清洗设备，合理的结构设计，优化的腔体尺寸，使得处理样品更大，适用范围更广。 产品性能稳定，操作简单方便，易维护。
应用领域：等离子清洗设备广泛应用于材料学、微电子、半导体、线 路板、LED、微流控、光电太阳能、生物医学等领域，主要用 于材料表面进行清洗、改性、刻蚀等目的。
产品特点
◆ 7 寸彩色触摸屏中英文互动操作界面，自动控制监测工艺参数状态，20 个配方程序，工艺数据可存储追溯。
◆ PLC 控制整个清洗过程，手动、自动两种工作模式。
◆ 用美国德威尔（Dwyer）气体浮子流量计或质量流量计 (CPC-FM)，可输入氧气、氩气、氮气、氢气或混合气等气体，气体控制准确。
◆ 气体返填吹扫，HEPA 高效过滤，防止二次污染。
◆ 316 不锈钢、石英真空舱可选择，全真空管路系统采用316 不锈钢材质，耐腐蚀无污染。
◆ 采用 60 度倾角操作面板设计，符合人体功能学，操作方 便，界面友好。
◆ 上控制下舱体结构设计，结构紧凑，占地空间小。
◆ 内凹式前面板设计，有效保护流量计和舱门不易损坏。
◆ 处理快速高效均匀，无污染，工艺重复性好。
◆ 样品处理温度低，无热损伤和热氧化。
◆ 安全保护，舱门打开，自动关闭电源。
技术参数
型号
CPC-F
CPC-Fplus
CPC-FM
CPC-FMplus
射频电源
40KHz
13.56MHz
40KHz
13.56MHz
射频功率
0-600W
0-150W
0-600W
0-150W
匹配器
自动匹配器
自动匹配器
激发方式
电容式或电感耦合（ICP）
电容式或电感耦合（ICP）
气体控制
双浮子流量计
单路 MFC（可选两路）
舱体尺寸
D200xΦ155mm
D200xΦ155mm
舱体材质
不锈钢或石英玻璃
不锈钢或石英玻璃
舱体容积
3.8L-5L
3.8L-5L
有效处理尺寸
L200xW155mm
L200xW155mm
时间设定
9999 秒
9999 秒
真空泵
抽速 4m³/h
抽速 4m³/h
气体稳定时间
1 分钟
1 分钟
真空度
100pa 以内
100pa 以内
电 源
AC220V 50/60Hz 766/316W
AC220V 50/60Hz 752/302W
产品尺寸
L440xW410xH455mm
L440xW410xH455mm
包装尺寸
L560xW560xH685mm
L560xW560xH685mm
整机重量
32kg
32kg
CIF等离子体刻蚀CPC-F/Plus的工作原理介绍
等离子体刻蚀CPC-F/Plus的使用方法?
CIFCPC-F/Plus多少钱一台?
等离子体刻蚀CPC-F/Plus可以检测什么？
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企业名称
华仪行（北京）科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
91110106085450966N
成立日期
2014-02-24
注册资本
1005
经营范围
技术开发、技术咨询、技术服务；销售仪器仪表、化工产品、玻璃制品、教学设备、办公设备、电子产品、五金交电、计算机软硬件；维修仪器仪表；货物进出口。
华仪行（北京）科技有限公司
公司地址
丰台区科兴路7号国际企业孵化中心301室
客服电话
公司名称： 华仪行（北京）科技有限公司
公司地址： 丰台区科兴路7号国际企业孵化中心301室 联系人： 孙先生 邮编： 100070 联系电话： 400-860-5168转3726
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