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CIF---等离子去胶机

品牌: CIF
产地: 河北
型号: SPB-5/Plus
报价: ¥30万 - 50万
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核心参数

仪器种类: 国产等离子体表面处理仪

射频频率: 40KHz

功率: 10-300W

设备尺寸: D300xΦ150mm

样品腔容积: 5L

样品腔材质: 石英真空仓

工作气体: Ar、N₂、O₂、H₂、CF4、CF4+ H2、CHF3或其他混合气体等(可选)

控制方式: 电感耦合

产品介绍


  • 特别适合于大学,科研院所和微电子、半导体企业 实验室,对电路板、外延片、芯片、环氧基树脂、MEMS制造过程中牺牲层,干刻或湿刻处理前或后,对基材进行聚合物剥离、金属剥离、掩膜材料等光刻胶去除,以及晶圆表面预处理等。

产品特点

  7 寸彩色触摸屏互动操作界面,自动控制监测工艺参数状态,20 个配方程序,工艺数据可存储追溯。

◆  PLC 工控机控制整个去胶过程,手动、自动两种工作模式。

◆  石英真空舱,全真空管路系统采用 316 不锈钢材质,耐腐蚀无污染。

◆  可选用石英舟,更适合晶元硅片去胶应用。

◆  采用花洒式多孔道进气方式,改变单孔进气不均匀问题。

◆  采用防腐数字流量计,实现对气体输入精准控制。标配双路气体输送系统,可选多气路气体输送系统,气体分配均匀。 可输入氧气、氩气、氮气、氢气或混合气等气体。

◆  HEPA 高效过滤,气体返填吹扫,防止二次污染。

◆  处理高效均匀,效率高,工艺重复性好。

◆  样品处理温度低,无热损伤和热氧化。

◆  安全保护,舱门打开,自动关闭电源,机器运行、停止提示。

技术参数

型号

SPB5

SPB5plus

舱体尺寸

D300xΦ150mm

D300xΦ150mm

舱体容积

5.2L

5.2L

舱体材质

石英玻璃

石英玻璃

射频电源

40KHz

13.56MHz

匹配器

自动匹配

自动匹配

激发方式

电感耦合(ICP)

电感耦合(ICP)

射频功率

0-1000W 可调

0-300W 可调(可选 0-600W)

最大处理尺寸

Φ150m

Φ150m

气体控制

质量流量计(MFC)(标配单路,可选双路)流量范围 0-500SCCM(可调)

工艺气体

Ar、N ₂、O ₂、H ₂或其他混合气体等(可选)

时间设定

1-99 分 59 秒

真空泵

抽速约 8m³/h

气体稳定时间

1 分钟

极限真空

=1Pa

产品尺寸

L550xW550xH420mm

包装尺寸

L650xW610xH620mm

电源

AC220V 50/60Hz1152/452(752)W 所有配线符合《低压配电设计规范  GB50054-95》、《低压配电装置及线路设计规范》等国标标准相关规定。

整机重量

52kg


售后服务
保修期: 1年
是否可延长保修期:
现场技术咨询:
免费培训:
免费仪器保养: 根据客户需求
保内维修承诺: 保期内免费更换零件
报修承诺: 24小时内响应
问商家

CIF表面处理仪SPB-5/Plus的工作原理介绍

表面处理仪SPB-5/Plus的使用方法?

CIFSPB-5/Plus多少钱一台?

表面处理仪SPB-5/Plus可以检测什么?

表面处理仪SPB-5/Plus使用的注意事项?

CIFSPB-5/Plus的说明书有吗?

CIF表面处理仪SPB-5/Plus的操作规程有吗?

CIF表面处理仪SPB-5/Plus报价含票含运吗?

CIFSPB-5/Plus有现货吗?

工商信息

企业名称

华仪行(北京)科技有限公司

企业信息已认证

企业类型

信用代码

91110106085450966N

成立日期

2014-02-24

注册资本

1005

经营范围

技术开发、技术咨询、技术服务;销售仪器仪表、化工产品、玻璃制品、教学设备、办公设备、电子产品、五金交电、计算机软硬件;维修仪器仪表;货物进出口。

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赛福国际集团有限公司为您提供CIF---等离子去胶机SPB-5/Plus,CIFSPB-5/Plus产地为河北,属于等离子体表面处理仪,除了CIF---等离子去胶机的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多等离子体表面处理仪,CIF客服电话400-860-5168转3726,售前、售后均可联系。

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