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核心参数
仪器种类： 国产等离子体表面处理仪
射频频率： 40KHz
功率： 10-300W
设备尺寸： D300xΦ150mm
样品腔容积： 5L
样品腔材质： 石英真空仓
工作气体： Ar、N₂、O₂、H₂、CF4、CF4+ H2、CHF3或其他混合气体等（可选）
控制方式： 电感耦合
特别适合于大学，科研院所和微电子、半导体企业 实验室，对电路板、外延片、芯片、环氧基树脂、MEMS制造过程中牺牲层，干刻或湿刻处理前或后，对基材进行聚合物剥离、金属剥离、掩膜材料等光刻胶去除，以及晶圆表面预处理等。
产品特点
◆ 7 寸彩色触摸屏互动操作界面，自动控制监测工艺参数状态，20 个配方程序，工艺数据可存储追溯。
◆ PLC 工控机控制整个去胶过程，手动、自动两种工作模式。
◆ 石英真空舱，全真空管路系统采用 316 不锈钢材质，耐腐蚀无污染。
◆ 可选用石英舟，更适合晶元硅片去胶应用。
◆ 采用花洒式多孔道进气方式，改变单孔进气不均匀问题。
◆ 采用防腐数字流量计，实现对气体输入精准控制。标配双路气体输送系统，可选多气路气体输送系统，气体分配均匀。 可输入氧气、氩气、氮气、氢气或混合气等气体。
◆ HEPA 高效过滤，气体返填吹扫，防止二次污染。
◆ 处理高效均匀，效率高，工艺重复性好。
◆ 样品处理温度低，无热损伤和热氧化。
◆ 安全保护，舱门打开，自动关闭电源，机器运行、停止提示。
技术参数
型号 | SPB5 | SPB5plus |
舱体尺寸 | D300xΦ150mm | D300xΦ150mm |
舱体容积 | 5.2L | 5.2L |
舱体材质 | 石英玻璃 | 石英玻璃 |
射频电源 | 40KHz | 13.56MHz |
匹配器 | 自动匹配 | 自动匹配 |
激发方式 | 电感耦合（ICP） | 电感耦合（ICP） |
射频功率 | 0-1000W 可调 | 0-300W 可调（可选 0-600W） |
最大处理尺寸 | Φ150m | Φ150m |
气体控制 | 质量流量计（MFC）（标配单路，可选双路）流量范围 0-500SCCM（可调） | |
工艺气体 | Ar、N ₂、O ₂、H ₂或其他混合气体等（可选） |
时间设定 | 1-99 分 59 秒 |
真空泵 | 抽速约 8m³/h |
气体稳定时间 | 1 分钟 |
极限真空 | =1Pa |
产品尺寸 | L550xW550xH420mm |
包装尺寸 | L650xW610xH620mm |
电源 | AC220V 50/60Hz，1152/452(752)W 所有配线符合《低压配电设计规范 GB50054-95》、《低压配电装置及线路设计规范》等国标标准相关规定。 |
整机重量 | 52kg |
CIF表面处理仪SPB-5/Plus的工作原理介绍
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企业名称
华仪行（北京）科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
91110106085450966N
成立日期
2014-02-24
注册资本
1005
经营范围
技术开发、技术咨询、技术服务；销售仪器仪表、化工产品、玻璃制品、教学设备、办公设备、电子产品、五金交电、计算机软硬件；维修仪器仪表；货物进出口。
华仪行（北京）科技有限公司
公司地址
丰台区科兴路7号国际企业孵化中心301室
客服电话
公司名称： 华仪行（北京）科技有限公司
公司地址： 丰台区科兴路7号国际企业孵化中心301室 联系人： 孙先生 邮编： 100070 联系电话： 400-860-5168转3726
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