¥80万 - 100万
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SPTS 物理气相沉积系统- Sigma®
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欧洲
SPTS 物理气相沉积系统- Sigma
SPTS作为的深硅刻蚀和物理气相沉积系统的供应商，能够提供一系列的解决方案来满足客户的生产和开发要求。通过一系列的技术的开发，SPTS能为客户提供一系列的先进的工艺，比如功率MOSFET和200mm和300mm晶圆上的端封装（3D封装和芯片级封装）。
系统简介
SPTS 物理气相沉积系统Sigma可以用于金属、介质薄膜的沉积。具备多种产品设计，满足不同客户需要。
市场
● MEMS
● 先进封装
● 功率器件
● LED
● 射频IC
优势：
● 单晶片工艺，相比多片工艺，良率、性能大大改善
● 对于特殊应用，可以选择"超级均匀性" 选项
● 可以操作易碎的、超薄的或弯曲的晶片
保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 有
免费培训: 技术人员现场培训
免费仪器保养: 2个月1次
保内维修承诺: 软件免费重装，硬件维修
报修承诺: 24小时到达
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