CPS-100-CF-77K低温探针台

样片尺寸

25mm、50mm、100mm

50mm

175mm

热规格

循环制冷机（型号204N），包括冷头，压缩机，制冷机和氦软管

液氮或液氦

温度范围

10K-480K

77K-480K

4.5K-480K，6.5K-480K，10K-480K

5K-480K

控温精度

 0.1K

温度偏差

100k以下±50   mK

-

250k以下±50   mK

温度分辨

0.001K

-

0.001K

热锚探头和辐射屏蔽

温控（加热）盘

夹头和探针臂的温度监控

辐射屏蔽的温度监测是可选

真空

基础压力较好可达1.0×10-5torr，在室温下用适当的真空泵选择，可以到10-6torr

基础系统

包括气体端口和压力释放阀

-

可视窗口

可根据客户要求添加

窗口材料：熔融二氧化硅或石英，定制材料和涂层等可选

光学系统

 变焦70系统（4UM分辨率）标准，125或160变焦系统可作为选配件，以及获得更经济的解决方案

照明系统

同轴和环形照明LED照明

同轴LED照明

同轴和环形照明LED照明

快门冷却

可选快门冷却

无论是吊杆安装或底座安装都保证XY或XYZ的精细分辨率

-

摄像头

从1百万像素到1k万像素。包括相机的图像和视频捕捉和尺寸测量能力的软件

探针

DC（同轴或三轴）

RF   (多方向的)

微操作

各种分辨率（40 TPI或3mm的标准，更高的分辨率可与额外费用）和范围（2“×1”X0.5“，4”×1“X0.5”或4“X1.75”×0.5“）可用

-

各种分辨率（40 TPI或3mm的标准，更高的分辨率可与额外费用）和范围（2“×1”X0.5“，4”×1“X0.5”或4“X1.75”×0.5“）可用

电缆

-   低温温度

-   兼容同轴电缆

-  低温下兼容三轴电缆

-   低温射频电缆

-   低温非磁性射频电缆

-低温温度

-   兼容同轴电缆

-   低温下兼容三轴电缆

-  低温温度

 - 兼容同轴电缆

-  低温下兼容三轴电缆

-  低温射频电缆

-  低温非磁性射频电缆

晶圆卡片

-接地

-分离

-   同轴

-   三轴

软件

基于LabVIEW的开放源软件

震动隔离

具有空气阻尼系统的隔振台            

隔振波纹管            

震动偏差

小于1um

小于30nm

选配项

-

-

光纤探针

-   定制的高电平到客户的需求

-