看了等离子体表面处理仪的用户又看了
台式小型机,PLC人机自动控制,简单易用,适用于实验室及小批量工业生产中材料表面清洗、蚀刻、活化等工艺。
提供三种功能配置:
1. 常规的等离子清洗和等离子刻蚀
2. 反应离子刻蚀(RIE)
3. 可转换结构(包含可以进行各向同性和各向异性的等离子工艺)可拆卸的托盘构造。
等离子刻蚀机技术参数:
设备型号:PE-100
腔体尺寸:长方形腔体,长度305 x深度368 x高度305mm;
腔体材质:T-6铝合金一体成型;
腔体容积:34升;
射频电源:13.56MHz;0~300W自动调节;
工作压力范围:1-2000 mT;
气体流量控制:0-50cc/min带精密针阀;
皮拉尼真空计: 0-1Torr;
保修期: 1年
是否可延长保修期: 否
现场技术咨询: 无
免费培训: 1次线上培训
免费仪器保养: 无
保内维修承诺: 因产品质量问题免费保修(各种消耗品除外),仪器提供全面维护,使之处于正常工作状态
报修承诺: 产品质保期内本公司提供36小时内的维修服务响应(除节假日外),以最快的速度派遣
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