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应用范围:
离子注入/接触退火;
快速热处理(RTP),快速退火(RTA),快速热氧化(RTO),快速热氮化(RTN);
SiAu,SiAl,SiMo等炼制合金;
低K电介质;
后植入退火处理;
铜浆烧制;
电阻浆料烧制;
太阳能电池晶片键合工艺;
LTO钛酸锂材料制备;
晶体化,致密化;
产品特点:
JetLight无需真空,大气即可处理;
高纯度石英腔体;
可达300mm的晶圆尺寸;
同时接入四路气体,常用:N2,O2,N2,H2,Ar;
真空负压和惰性气体常压两种模式灵活选择;
三个斜面石英Pin脚将晶片(或基座)固定在腔室中,石英针的设计可提高温度均匀性。
底部设计成非常快速的石英销开关,例如,从4~2英寸,8~4英寸装载切换,则只需一分钟。
提高基板上的温度均匀性,炉具有3~6个独立的加热区域,允许增加基板边缘的功率,以补偿样品边缘上的热损失。
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