产地类别： 进口
产品介绍
NanoMaker发布了五个不同的版本 - Full, Workbench, Workbench-EDU, Writer, Editor.
| # | 功能 \ 产品类别 | Full | Workbench | Workbench-EDU | Writer | Editor | |
 | 图形编辑器 (专业 2D/3D CAD) | ||||||
| - | 结构设计（分层/多层） |  | | | | | |
| - | 加载/保存 GraphicalDataBase (GDB) 文件 | | | | | | |
| - | 输入GDS,DXF,ELM,BMP,TIF格式文件 | | | | | | |
| - | 输出 GDS,DXF,ELM, DC2+RF6格式文件 | | | | | * | |
| 推荐参数 | ||||||
| - | 实验数据库 | | | | | | |
| - | 蒙特卡罗计算函数 | Optional | Optional | Optional | Optional | None | |
| 后处理 | ||||||
| - | Negative, Union, Frame, Shrink, Erase, Overlaps out, Dividing, Dose Stratification,... | | | | None | None | |
| 接近和仿真 | ||||||
| - | 邻近效应校正 | | | | None | None | |
| - | 光刻效果模拟 | | | | None | None | |
| 校准和调整 (Working with Video) | ||||||
| - | 对齐测试图案或样品台仿真 | | Simulation | Simulation | | Simulation | |
| - | 样品台调整测试或ScanField仿真 | | Simulation | Simulation | | Simulation | |
| - | 图像采集 | | Simulation | Simulation | | Simulation | |
| 扫描电镜不准确表征有源补偿 | ||||||
| - | 动态（动态延时的定义） | | Simulation | Simulation | | Simulation | |
| - | 失真（扫描电镜光学系统畸变的定义） | | Simulation | Simulation | | Simulation | |
| 曝光 (Writing) | ||||||
| - | 对齐与补偿动态和失真误差 | | Simulation | Simulation | | Simulation | |
| 批处理 | ||||||
| - | 多重校正和曝光 | | Simulation | Simulation | | Simulation | |
| 样品台控制 (可选) | ||||||
| - | 样品台驱动器 | | Simulation | Simulation | | Simulation | |
| 图案发生器 | | None | None | | None | |
* 邻近效应校正的可能性是有限的
Full | |||
| 软件 | ||
| 基本模块（包括编辑，导入/导出，实验推荐参数，后处理，邻近效应校正，光刻模拟，曝光，图像采集，拼接和曝光信息，批量处理，扫描电镜不准确有源补偿的失真和动态延迟，帮助对齐） | ||
| 蒙特卡罗计算函数参数可选 | ||
| 图案发生器驱动 | ||
| 真实 (自定义) 样品台驱动 | ||
| 图形发生器和样品台模拟驱动器（仿真器驱动，手动驱动程序） | ||
| 保护锁驱动程序 | ||
| 硬件 | ||
| 图案发生器 | ||
| 保护锁 | ||
Workbench | |||
| 软件 | ||
| 基本模块，包括编辑，导入/导出，实验推荐参数，后处理，邻近效应校正，光刻模拟，帮助。其他功能（如曝光，图像采集，拼接和对位曝光字段，批量处理，扫描电镜不准确有源补偿的失真和动态延迟）仅包含在模拟（训练）模式。 | ||
| 蒙特卡罗计算函数参数可选 | ||
| 图形发生器和样品台模拟驱动器（仿真器驱动，手动驱动程序） | ||
| 保护锁驱动程序 | ||
| 硬件 | ||
| 保护锁 | ||
Workbench-EDU | |||
 | 此版本只提供给教育科研机构 | ||
| 软件 | ||
| 基本模块，包括编辑，导入/导出，实验推荐参数，后处理，邻近效应校正，光刻模拟，帮助。其他功能（如曝光，图像采集，拼接和对位曝光字段，批量处理，扫描电镜不准确有源补偿的失真和动态延迟）仅包含在模拟（训练）模式。 | ||
| 蒙特卡罗计算函数参数可选 | ||
| 图形发生器和样品台模拟驱动器（仿真器驱动，手动驱动程序） | ||
| 保护锁驱动程序 | ||
| 硬件 | ||
| 保护锁 | ||
Writer | |||
| 软件 | ||
| 基本模块，包括编辑，导入/导出，实验推荐参数，曝光，图像采集，拼接和对位曝光字段，批量处理，扫描电镜不准确有源补偿的失真和动态延迟，帮助。此版本不包括后处理，邻近效应校正和抵制开发仿真功能。 | ||
| 图形发生器驱动 | ||
| 真实 (自定义)样品台驱动 (可选) | ||
| 图形发生器和样品台模拟驱动（仿真器驱动，手动驱动程序） | ||
| 保护锁驱动程序 | ||
| 硬件 | ||
| 图案发生器 | ||
| 保护锁 | ||
Editor | |||
| 平版结构的全功能图形化编辑器 | ||
| 软件 | ||
| 基本模块，包括编辑，导入/导出，实验推荐参数，帮助。下一个函数仅包含在模拟（训练）模式 - 曝光，图像采集，拼接和曝光信息，批量处理，扫描电镜不准确有源补偿的失真和动态延迟校准。出口可能是没有注册的程序限制。此版本不包括后处理，邻近效应校正和光刻仿真功能。 | ||
| 图形发生器和样品台模拟驱动（仿真器驱动，手动驱动程序） | ||
