2PP双光子三维聚合微纳米加工系统

Workshop of Photonics公司从2003年开始就专注于飞秒激光微纳加工工艺研发, 凭借着创新技术及先进可靠工艺在全球类似Laser World of Photonics上获得多项大奖, 现阶段已是全欧洲有名的飞秒激光解决方案供应商.

随着微纳科学与技术的发展, 以形状尺寸微小或操作尺寸极小为特征的微电子机械系统(MEMS)纳电子机械系统(NEMS),已成为现代科学技术的一项重要高新技术. 许多前沿科学的进步和高新技术的突破都来源于微结构加工精度的提高, 例如, 微电子学技术的发展, 更高的运算速度和更强大的功能要求大规模集成电路向更微型化的方向发展. 精密微加工在航空航天, 精密机械, 生物医学等领域有着广泛的应用潜力. 另外, 微结构在基础科学研究中也占有举足轻重的地位, 成为纳米技术研究的重要手段, 因而受到各个国家的高度重视. 过去微加工研究主要集中在微电子学器件方面, 今天在其他领域的研究和应用正迅速发展, 包括生物研究领域的微型操作器, 微型反应器, 微机电系统, 微型光电器件等.

由于不同领域对微加工工艺的要求不同, 以及不同的材料有不同的加工技术, 各种微加工技术迅速发展. 在微纳米尺度范围内, 已经有许多成熟的微加工技术, 其中占据最主要地位的就是光刻技术, 此外还有其他技术如纳米压印技术, 注射喷墨成型等.主流型号为FemtoLAB实验级飞秒激光微纳米加工系统, FemtoFAB产业级飞秒激光微纳米加工系统, MPP-Cube秒双光子/多光子三维聚合微纳米加工系统.

飞秒脉冲激光的出现为人们在加工领域开辟了新篇章, 其具有超快时间和超高峰值特性等许多新奇特性, 它能将能量快速, 准确的几种在作用区域, 实现对几乎所有材料的非热熔性冷处理, 获得传统激光加工无法比拟的高精度, 低损伤等优势. 飞秒激光这些独特优势使得它在材料的微细加工, 微纳结构制作, 光子器件, 高密度存储, 医疗和生物工程方面得到广泛的应用.

多光子聚合三维微纳加工是一种非常有效的微制造技术, 该技术是一种非线性的双光子吸收过程, 在超短激光脉冲分子存在下可以同时吸收两个或两个以上的光子, 从而使得聚合材料在激光的焦点. 此技术可以产生纳米级别的制造分辨率！为了发挥双光子聚合固有的高分辨率, 需要高精度定位系统, 如压电器件控制的操作台和扫描振镜.