溅射/碳镀膜机

关于SPI公司：

SPI公司(Structure Probe, Inc.)创立于1970年，创立之初以电镜分析服务为主，1975年创立耗材部门，销售电镜专用的试片制作工具及耗材。该公司产品包括SEM、TEM、SPM甚至Laser Microscope 的耗材，仪器部分包括镀碳镀金机、电浆表面清洁或蚀刻机及电浆镀锇机等。

SPI Module™溅射/碳镀机：

SPI Supplies的溅射/碳镀机实现碳蒸发及金属溅射的灵活选择，整合到一个系统中。　

特点：

* 能从碳棒或碳纤维中蒸发碳

* 溅射贵金属

* 溅射及碳单元使用同一真空基座

* 堆叠设计*大程度减少工作台的空间要求

* 石英晶体层监控器可选

* 水冷却基座

* 可调节的样品台高度

* 安装、使用简单

系统规格：

* 多重配置可选

* Pyrex（派热克斯玻璃）腔：直径4″×高6″

大小：

* 真空基座：19″ W × 13″ D × 10″ H(48 cm W × 33 cm D × 25 cm H)

* 溅射/碳镀模块：10″ W × 13″ D × 6″ H(25 cm W × 33 cm D × 15 cm H)

系统包括：

* 真空基座，带溅射及/或碳镀膜模块

* 不锈钢真空管

* 溅射模块包括一个溅射头及金靶

* 碳镀膜模块包括一个碳纤维蒸发头

场地需求：

* 真空泵，*低2.1 ft3/min

* 电源：110 V or 220V, 50/60 Hz

* 高纯度氩气罐及校准器（推荐，用于溅镀）

碳镀膜机体系：

包括： 

* 真空控制基座

* 碳镀膜机模块（可选碳棒头）

溅射镀膜机体系：

贵金属镀膜(如镀金)

包括： 

* 真空控制基座 

* 溅射镀膜机模块

组合型溅射/碳镀膜机体系：

“组合型”包括：

* 真空控制基座

* 溅射镀膜机模块

* 碳镀膜机模块/带碳纤维头

* 可选碳棒头