一个完整的成套系统
MM-16是一台具有价格优势的光谱型椭偏仪,它采用液晶调制器来调制偏振光,而不是传统椭偏技术中的机偏光械偏光装置。
这一技术提供了一台非常快、非常准确而又非常简洁、非常容易操作的椭偏仪。
MM-16光谱型椭偏仪在全谱范围内椭偏数据的获得以及一次测量(少于2秒的时间内)全16个元素Mueller矩阵的计算方面有着显著的优势。
因此,可高准确性和高精度地被获得椭偏角 Y 和 D数据。
規格
MM-16光谱型椭偏仪提供多种实验功能,包括:
*离线和在线配置
*一系列附件和自动选件,与UVISEL光谱型椭偏仪完全通用
DeltaPsi2软件用来控制MM-16光谱型椭偏仪。DeltaPsi2集成了一整套模型和分析数据库,既适用于椭偏仪初学者,又可以为数据采集和分析设定自动程序来实现快速分析。
MM-16是半导体、光学镀膜、化学、生物和在线实时控制等应用的理想选择。
应用
*在可见光范围内薄膜和多层结构的厚度、光学常数分析:
- 介质
- 无定形半导体
- 聚合物
- 金属薄膜
- 玻璃
*消偏振和各向异性样品的分析
详细指标参数可访问
波长范围 430-850nm
2048象素CCD
重复性 +/-0.2nm
这一独特的特性拓展了传统椭偏仪的功能,使之能够分析去化和各向异性样品的属性。
*液晶调制椭偏仪
*提供传统椭偏数据和Mueller矩阵中的所有16个元素
*强大的应用能力可用来分析去化和各向异性样品
*模块化设计
*具竞争力的价格
MM-16是一台具有价格优势的光谱型椭偏仪,它采用液晶调制器来调制偏振光,而不是传统椭偏技术中的机偏光械偏光装置。 这一技术提供了一台非常快、非常准确而又非常简洁、非常容易操作的椭偏仪。 MM-16光谱型椭偏仪在全谱范围内椭偏数据的获得以及一次测量(少于2秒的时间内)全16个元素Mueller矩阵的计算方面有着显著的优势。 因此,可高准确性和高精度地被获得椭偏角 Y 和 D数据。
Jobin Yvon公司采用光电调制技术生产的UVISLE, MM16椭偏仪,在精度,稳定性等方面达到了一个新的水平。文章主要说明了电光调制型椭偏仪的工作原理和特点。
HORIBA Jobin Yvon, 薄膜部推出了新型MM16高精度,高灵敏,低价格的相调制椭圆偏振光谱仪。 其采用液晶调制技术,2048CCD采集光谱,全谱采集时间仅2s钟,同时椭偏仪在可见光波段采用4×4的Mueller 矩阵进行数据分析,可以精确的对测量复杂折射率材料进行分析,可广泛应用在平板显示,生物,包装和半导体领域。
Some application on OLED(useing ellipsometer)
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