聚焦离子束系统

                              AURIGA  基本参数

分辨率

         SEM

           FIB

GEMINI column

1.0   nm @ 15 kV

1.9 nm @  1kV

Cobra column: 2.5 nm @ 30kV

Canion column: 7nm@ 30kV

放大倍数

  12x – 1000 kx

   300x – 500 kx

束流

 4pA – 20 nA (80nm 可选)

   1 pA – 50 nA

加速电压

  0.1 － 30 kV

   1.0 – 30 kV

发射器

 热场(Schottky)

 Ga 离子源（LMIS）

气体注入器系统

a)       5个（Pt,C,W, 碘，绝缘体,氟化物等）

b)      4个＋局部电荷中和器（可使用所有的标准探测器）

c)      一个

d)      在使用局部电荷中和器时，可使用所有的标准探测器

 样品台

 6 轴超优中心马达台

 移动范围

         X,Y ＝ 100 mm

         Z   ＝ 55 mm

         Z”  ＝ 10 mm

         倾斜＝ -10 － 60度，旋转＝360度 连续

         AWD(分析工作距离)＝5－8.5 mm

 样品交换室

 80 mm / 100 mm 手动样品交换

 探测器

 高效环形 In-lens 二次电子探测器

 Everhart-Thornley二次电子探测器

 镜筒内置式 EsB背散射电子探测器（带0－1500V过滤网）

 二次离子探测器（SESI）

 固体背散射电子探测器

 BF/DF STEM探测器

样品室

 330 mm(直径)，266 mm(高)

 15个接口可安装 STEM,4QBSD,EBSD,EDS,WDS,SIMS,GIS系统，局部电荷中和器等

2个观察用CCD.

操作显示系统

基于Windows操作系统上的SmartSEM操作界面。

由鼠标，键盘，操作杆控制或控制板（可选）