【Park Systems】原子力显微镜 XE-150

    随着XE-150的推出，对大尺寸样品进行无损检测成为了一种切实可行的技术手段。XE-150分辨率高，性能稳定可靠。样品台可在150毫米见方或者200毫米见方的量程内自动移动，无论是扫描小尺寸样品还是大尺寸样品，操作起来都是得心应手。如使用Step-and-Scan功能可帮助用户按照定制的计划对多个目标区域进行连续自动扫描，极大的提高了检测效率。

技术参数（机械部分）：
1. XY扫描器：100µm×100µm（闭环），可选配200µm×200 µm
2. Z扫描器：12µm (可选配25µm)
3. 水平度：50µm线扫描垂直偏差不超过±2nm
4. XY和Z扫描器的正交性：1.0°
5. 样品台移动范围：200mm×200mm（X/Y），27.5mm (Z)
6. 样品尺寸：200mm×200mm
7. 光学观察：垂直光路设计，可直接观察微悬臂和样品

技术参数（电子部分）
1. 微处理器：600MHz，4800MIPS DSP
2. 模数/数模：16位，500kHz采样频率
3. 图像采集：同步自动采集16幅图像，分辨率高达4096×4096像素
4. 通讯方式：采用基于TCP/IP协议的通讯方式与计算机联接
5. 符合CE认证标准

标准工作模式：
 真正非接触模式(True non-contact mode)
 接触模式(contact mode)
 相位模式(phase imaging)
 横向力模式(LFM)

扩展工作模式：
 力测量（Force measurements）
 导电（Conductive AFM）
 电力（Electric Force）
 电子 (Electrical)
 磁性 (Magnetical)
 机械 (Mechanical)
 热 (Thermal)

一、 彻底消除了扫描器的交叉耦合

二、 无损检测将分辨率提高到了极致

三、 易于同其他光学设备组合使用

四、 可便捷的更换样品和探针

五、 可对多目标区域进行自动扫描

六、 150/200mm全程移动样品台