扫描俄歇微探针

扫描俄歇微探针（SAM）是利用电子束辐照样品表面，通过探测表面出射的电子中俄歇电子的特征信号而分析表面元素组成的分析方法。

NanoSAM Lab是专门针对扫描俄歇分析所设计的系统，是一套将成像、谱测量和纳米结构分析等功能结合到 一起的功能强大的完整系统。UHV GEMINI电镜和NanoSAM电子能量分析器的结合，使NanoSAM Lab可以提供无与伦比的分辨率（SAM好于5 nm，SEM好于3 nm）。

NanoSAM Lab的半球形分析器采用了经过优化的透镜系统，非常适合与超高真空GEMINI电镜的物镜配合使用。而且具有很宽的接收角。另外其独特的八极偏转系统提供了定量分析所要求的平滑的传输特性。

另外系统还可以扩展其他分析手段，例如EBSD、EDX、CL、SEMPA、XPS、FIB、深度剖析及电荷中和等等。

1keV电子能量下获得的金刚石晶体的SEM图像	放置于TEM样品架上的超薄SiN片的SEM图像。随所用的二次电子探测器不同，SiN薄片的SEM图像可以是半透明或不透明。左：外置SED，右：同轴SED	Si上生长Ag岛形成的“纳米鱼”，以及不同位置处的AES谱