电镜原位原子力显微镜

一、产品简介

LiteScope™是为不同品牌的扫描电子显微镜（SEM）设计的“即插即用”的扫描探针显微镜。根据客户需求，定制并提供适当的适配器和反馈机制，很容易通过四个螺丝将LiteScope™固定在电子显微镜的样品台上，通过线缆与控制器、电脑进行连接。 LiteScope™通过可更换探针进行多种扫描探针显微镜（SPM）成像模式。 综合分析包括：面形貌表征、机械性能、电性能、磁性能。

二、 主要功能

LiteScope™提供并支持各种SPM测量方法和各种探针，其设计基础和最有价值的技术特征是通过不同的探针夹，使用不同的探针以达到测试要求。其主要测试功能：原子力显微镜（AFM）、静电力显微镜(EFM)、局部电压/电流测量、力调制模式（FMM）、开尔文探针力模式（KPFM）、磁力显微镜（MFM）、扫描隧道显微镜（STM）、纳米压痕。

三、技术特点：

LiteScope™采用关联探针和电子显微镜技术（CPEM），该技术利用两种不同的技术对同一物体城乡的方法。CPEM能够同时对样品表面的同一个区域进行SEM和AFM表征。

LiteScope™通常用于高真空环境，但也可根据要求适用于超高真空环境。

工作温度：+15°C至+25°C

标准工作压力：10-5Pa~105Pa

外形尺寸：129 mm x 90 mm x 45-55 mm

最大扫描面积：22 mm x 11 mm x 8 mm

扫描范围：100 um x 100 um x 100 um

分辨率：0.2nm

四、技术优势：

独特的关联探针和电子显微镜技术（CPEM）

综合表面表征-形貌、粗糙度、磁性、导电性、电性能

在样品表面对针尖进行精确导航定位

5分钟内轻松集成和安装/拆卸

即插即用

与FIB、GIS、EDX等附件兼容

无需光学探测、无需激光调节的自感应探头

商用探针，多种测量模式

可根据客户要求定制探针适配于合适的探针夹

测量头可缩回LiteScope™的主体，以节省样品周围的空间。

倾斜操作（倾斜0°–60°），最小WD=5 mm

软件友好，无需特殊安装

远程访问结果和测量设置